[发明专利]玻璃加工用感光性树脂组合物及玻璃加工方法

说明书

提供：(1)耐蚀刻性高且分辨率优异、同时抑制侧蚀、可形成纵横比高的，或者(2)耐蚀刻性高且分辨率优异、同时抑制液体滴落的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。本发明的(1)组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料，(2)组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂、填料与流变调节剂的组合。本发明的玻璃加工方法包括在玻璃基板上形成含上述组合物的树脂层的工序、将上述层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影进行图案图案化的显影工序、将上述树脂图案用作掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序和剥离上述树脂图案的剥离工序。

技术领域

本发明涉及一种玻璃加工用感光性树脂组合物及玻璃加工方法，其是将该玻璃加工用感光性树脂组合物形成图案而得到的树脂图案作为掩模来对玻璃基板进行蚀刻加工。

背景技术

就触摸面板而言，在隔着垫片而相向的玻璃基板与膜材料的相向面上，分别将ITO等透明导电物质成膜而成。该触摸面板中，以坐标信息的形式检测出膜材料的接触位置。

另外，最近，还提出了触摸面板一体型的液晶显示器。就其而言，构成液晶显示器的2张玻璃基板的一个兼为触摸面板的玻璃基板，在实现薄型化及轻质化方面非常有效。

以往，作为这样的玻璃基板的加工方法，通常采用物理方法，但出现了在加工时易在内部产生裂缝，强度降低或成品率变差这样的问题。

因此，近年来，提出了将感光性树脂组合物形成图案而得到的树脂图案用作掩模对玻璃基板进行蚀刻加工的化学方法(例如参照专利文献1、2)。利用这样的化学方法，因在加工时没有对其施加物理负荷，故难以在内部产生裂痕。另外，与物理方法不同，在玻璃基板上还可进行麦克风、扬声器用的开孔加工。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-076768号公报

专利文献2：日本特开2010-072518号公报

发明内容

发明要解决的问题

不过，最近，使用钢化玻璃作为这样的玻璃基板的情况很多。由此，蚀刻条件也变得过于严酷，正在研究例如将含有15质量％氢氟酸及15质量％硫酸的蚀刻液加热至25～60℃来使用。

但是，使用在专利文献1、2中记载的那样的以往的感光性树脂组合物时，出现了在如上所述那样的过于严酷的蚀刻条件下耐蚀刻性不足这样的问题。另外，使用以往的感光性树脂组合物时，发生侧蚀，难以形成具有纵横比高的的树脂图案。

另外，例如，为了在玻璃基板上形成通孔，有着采用下述方法的情况：将使在玻璃基板的两面涂布的感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案用作掩模来对玻璃基板进行蚀刻加工。在形成上述树脂图案的过程中，将感光性树脂组合物涂布在玻璃基板的两面上并使其干燥而得到树脂层，将该树脂层曝光、显影来进行获得树脂图案的双面图案化。此时，若单面单面地进行感光性树脂组合物的涂布及干燥，则在树脂层之间产生热经历等的不同，有着在图案化时产生影响的情况。因此，就感光性树脂组合物的涂布及干燥而言，优选对玻璃基板的两面同时进行。这样的涂布及干燥是将玻璃基板垂直或水平配置来进行的。

但是，在专利文献1、2中记载的那样的以往的感光性树脂组合物具有流动性，引起液体滴落，故出现了难以形成均匀的树脂层这样的问题。即，将玻璃基板垂直配置来进行涂布及干燥时，由于重力的影响，引起感光性树脂组合物的液体从上方滴落至下方，易产生树脂层的膜厚不均。另一方面，将玻璃基板水平配置来进行涂布及干燥时，因上面的感光性树脂组合物受玻璃基板支承，故树脂层的膜厚易保持均匀，与此相对，下面的感光性树脂组合物没有这样的支承，更易流动，故树脂层的膜厚易产生不均。