[发明专利]一种二极管芯片制备工艺在审

专利信息
申请号: 201310271604.5 申请日: 2013-07-01
公开(公告)号: CN103367184A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 范涛 申请(专利权)人: 浙江固驰电子有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 柯利进
地址: 321402 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 二极管 芯片 制备 工艺
【权利要求书】:

1.一种二极管芯片制备工艺,其特征包括以下步骤: 

(1)准备未电镀的电极金属片;

(2)将上述电极金属片,以及焊片和加工完成PN结后的硅片按常规依次进行组装、高温烧结和涂胶固化;

(3)将涂胶固化后的二极管芯片进行化学镀锡或镀镍,使二极管芯片的两电极金属片外表面形成镀锡层或镀镍层;

(4)测试和包装。

2.根据权利要求1所述的一种二极管芯片制备工艺,其特征是:所述化学镀锡包括以下步骤:

(1)将烧结和涂胶后的二极管芯片放入热水中浸泡,温度80℃以上,时间1分钟;

(2)将上述浸泡过的二极管芯片捞出,并迅速放入化学镀镀液中完全浸没,其镀液成份为:氯化亚铅5-8g/L,氯化亚锡14-16g/L,盐酸70-100g/L,次亚磷酸钠50-80g/L,硫脲120-150g/L,添加剂5-20g/L,其余为水;镀液温度为70―80℃,化学镀时间为5-10分钟;

(3)从镀液中捞出二极管芯片,并迅速将二极管芯片放入洁净热水中清洗干净,热水温度75℃以上;

(4)将清洗干净的二极管芯片用风吹干。

3.根据权利要求1所述的一种二极管芯片制备工艺,其特征是:所述化学镀镍包括以下步骤:

(1)将烧结和涂胶后的二极管芯片放入热水中浸泡,温度80℃以上,时间1分钟;

(2)将上述浸泡过的二极管芯片捞出,并迅速放入化学镀镀液中完全浸没,其镀液成份为:硫酸镍30-40g/L,次亚磷酸钠20-30g/L,添加剂2g/L,其余为水,镀液温度为85―95℃,化学镀时间为30-60分钟;

(3)从镀液中捞出二极管芯片,并迅速将二极管芯片放入洁净热水中清洗干净,热水温度75℃以上;

(4)将清洗干净的二极管芯片用风吹干。

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