[发明专利]气液介质微距执行机构

权利要求书

1.一种气液介质微距执行机构，它包括中空的管状结构体，其特征在于管状结构体包括内层管壁和外层管壁，内层管壁和外层管壁的端面密封，内层管壁和外层管壁之间形成压力介质腔体，内层管壁和/或外层管壁具有承压变形段；管状结构体上设有压力介质腔体相通的压力介质开孔，所述承压变形段是向压力介质腔体内凹陷结构或向压力介质腔体外凸出结构。

2.如权利要求1所述气液介质微距执行机构，其特征在于内层管壁上具有至少一个向压力介质腔体内凹陷的第一承压变形段；外层管壁具有至少一个向压力介质腔体内凹陷的第二承压变形段，所述第一承压变形段和所述第二承压变形段沿管状结构体轴向错层设置。

3.如权利要求1所述气液介质微距执行机构，其特征在于内层管壁上具有至少一个向压力介质腔体内凹陷的第一承压变形段；外层管壁具有至少一个向压力介质腔体内凹陷的第二承压变形段，所述第一承压变形段和所述第二承压变形段相对同层设置。

4.如权利要求1所述气液介质微距执行机构，其特征在于内层管壁上具有至少一个向压力介质腔体外凸出的第一承压变形段；外层管壁具有至少一个向压力介质腔体外凸出的第二承压变形段，所述第一承压变形段和所述第二承压变形段相对同层设置或所述第一承压变形段和所述第二承压变形段沿管状结构体轴向错层设置。

5.如权利要求1或2或3或4所述气液介质微距执行机构，其特征在于承压变形段包括第一承压部和第二承压部，第一承压部和第二承压部之间连接变形部。

6.如权利要求5所述气液介质微距执行机构，其特征在于所述第一承压部是平面；所述第二承压部是平面。

7.如权利要求5所述气液介质微距执行机构，其特征在于第一承压部的承压面积和第二承压部承压面积相同。

8.如权利要求2所述气液介质微距执行机构，其特征在于与第一承压变形段相对应部位的外层管壁是外圆柱段；与第二承压变形段相对应部位的内层管壁是内圆柱段。

9.如权利要求1或2或3或4所述气液介质微距执行机构，其特征在于内层管壁和外层管壁的端面连接圆环支撑架。

10.如权利要求1所述气液介质微距执行机构，其特征在于所述内层管壁由多层壁体构成；外层管壁由多层壁体构成。