[发明专利]一种IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法

说明书

技术领域

本发明属于IC装备控制技术领域，具体说是一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法。

背景技术

目前国内半导体厂投资已朝向12英寸晶圆发展，其晶圆生产工序日渐复杂，加工生产过程中产生的数据量也越来越大。如何从大量的数据中获取更多更直观的信息成为IC软件开发中的一个技术问题。

现有的IC装备控制软件中大多以报表的形式提供给用户，这种数据形式不够直观而且也无法反应数据的变化趋势。少量的IC装备控制软件提供曲线显示功能，但功能并不完备，而且灵活性差，很难根据用户的需求进行灵活的配置，往往需要设计人员对程序进行修改，增加了开发成本，而且根据数据源的不同往往需要重新开发软件，增加了二次开发的成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法，通过该设计方法设计的IC装备多数据源曲线绘制系统，可以通过配置数据源属性来实现多数据源曲线的绘制功能，另外可以对曲线参数信息进行配置，使曲线的显示更为灵活。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种IC装备多数据源曲线绘制系统，包括曲线绘制系统加载模块、曲线参数配置模块、曲线数据采集模块、曲线显示及操作模块和曲线数据导出模块；

所述曲线绘制系统加载模块，用于在所述曲线绘制系统初始化时，根据用户的定制加载相应的模块；

所述曲线参数配置模块，用于用户根据IC装备中实际连接设备，配置相应的曲线参数的采集信息和曲线参数的显示信息，生成曲线参数配置文件，通过对曲线参数配置文件的修改实现对曲线参数的添加、删除或修改；

所述曲线数据采集模块，提供各个模块间的接口，接收所述曲线参数配置模块的逻辑命令，根据所述的逻辑命令，实现对与数据采集设备的通信并获取数据采集设备中的采集参数；

所述曲线显示及操作模块，用于将所述曲线数据采集模块采集到的数据进行编辑，形成相应的曲线并显示，并提供对曲线进行操作的平台；

所述曲线数据导出模块，用于对曲线参数的数据进行导出。

所述曲线数据导出模块以文本文件或Excell文件的形式对曲线数据进行导出。

一种IC装备多数据源曲线绘制系统的设计方法，包括以下步骤：

系统初始化，根据用户的定制加载系统中相应的模块；

生产曲线参数配置文件，采集曲线参数；

对曲线参数进行编辑并显示。

所述根据用户的定制加载系统中相应的模块，具体为：

为系统中的每个模块均设计一个类型属性，通过配置所述类型属性动态加载相应模块，完成实时曲线和历史曲线的切换，实现定制功能。

所述生产曲线参数配置文件，采集曲线参数，具体为：

采用线程的方式设计，根据模块类型不同，连接不同的底层服务模块，所述线程提供各个模块间的接口，根据应用程序的逻辑命令实现对数据采集状态控制，包括数据采集的开启控制和关闭控制。

所述对曲线参数进行编辑并显示，具体为：

将曲线参数分为组基本信息和曲线参数特定信息，所述组基本信息包括组名、组显示名、X轴坐标名称、X轴小步长、X轴大步长、X轴显示长度、X轴总容量和刷新时间；所述曲线参数特定信息包括变量名称、所属模块名称、曲线名称、变量的最小值、变量的最大值、Y轴小步长、Y轴大步长、标志和曲线颜色；

将同一组曲线设置为相同的组基本信息，每组曲线的曲线参数特定信息不同；

将组基本信息和曲线参数特定信息保存，并供显示时读取。

本发明可降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性、可维护性和易操作性，具体具有以下优点及有益效果：

1.本发明使系统可根据用户需要进行定制。

2．本发明提供的数据采集模块的设计方法，可根据曲线类型，动态链接数据源，也可根据用户需要控制采集模块的启动与停止。

3．本发明提供的对曲线参数编辑的方法，曲线参数信息以xml文件的形式进行存储，用户可通过对曲线参数的编辑对曲线参数信息进行读取和配置。

4．通过本发明提供的曲线绘制系统，具有曲线类型的定制功能，曲线参数的配置功能，数据源的选择功能，这样可以更加灵活的根据用户需求完成曲线的绘制及显示功能。

附图说明

图1是多数据源曲线绘制系统的架构图；

图2是IC装备多数据源曲线绘制系统的加载方法示意图；