[发明专利]消除TFT‑LCD玻璃基板切割裂片粉尘的方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种生产TFT-LCD玻璃基板的方法，具体涉及一种TFT–LCD玻璃基板制造过程中消除切割裂片粉尘方法及实现该方法的吸尘装置。 

背景技术

在制作液晶显示器、等离子显示器、等各种图像显示设备用的玻璃面板时，目前，采用的方法是由一片原板玻璃制作出多片玻璃面板。而且，现状是，玻璃制造商等原板玻璃的大板化技术正不断改进。 

这些原板玻璃通常使用液晶玻璃板的切割工艺获得，液晶玻璃板的切割工艺就是使用具有一定硬度的刀轮，在一定的压力下，划过玻璃表面，从而在玻璃表面形成一道深切槽，借助裂片工艺，使得在切割时形成的深切槽贯穿整个玻璃的厚度使玻璃分离，切割为矩形形状且规定大小的玻璃基板；生产中会产生大量玻璃粉尘粘附在基板表面，玻璃粉尘粘附越多，清洗玻璃粉尘越困难，没有清洗掉的玻璃粉尘会形成玻璃粉尘粘附缺陷，这些玻璃粉尘受到轻微的震动就会产生划伤缺陷；在输送时也损伤邻接其他玻璃基板等，而玻璃基板上要形成电子功能原件以显示各种图像，玻璃粉尘粘附导致形成电子功能原件以显示各种图像缺陷，为了避免这种情况，消除玻璃基板切割粉尘非常重要。 

ⅰ、分析粉尘的实质 

玻璃基板在传送带时，纵切划线一侧为B面，掰断一侧为A面。

（一）划线掰断 

1．首先，完成玻璃基板的纵向划线工作。玻璃基板左右两侧边的划线动作同步进行，两把切割刀轮同步从TFT玻璃B面下方垂直上划，与此同步玻璃基板背面有两个与切割刀轮相对应的受力支撑砧板和划线刀具正对配合，划线完成后刀具退回，后方支撑砧板暂时保持原位。

2．掰断动作（裂片）是一个复合运动,它是通过气缸前后移动,玻璃基板由气爪和两侧的真空吸盘吸住玻璃后进行划线和掰断的,掰断的过程可以分为掰断动作和分离, 分离即把玻璃掰断后拽开的动作,这两个动作瞬间完成。碎玻璃条通过溜槽系统收集出去,在掰断过程中产生的碎屑粉尘,是通过真空管路吸附后送到集尘器中进行除尘收集的。 

（二）粉尘的产生原因 

1、对纵切和未纵切玻璃基板表面粉尘颗粒实验对比，在检验工位观察变化，表1统计如下：

表1

从数据分析玻璃基板表面粉尘颗粒都在纵切机产生；玻璃基板没有纵切，玻璃表面没有粉尘颗粒。

2、对纵切机划线未掰断和划线掰断粉尘颗粒实验对比，统计表2如下： 

表2

数据分析中得知，划线不掰断玻璃表面粉尘颗粒几乎没有，粉尘位置在B面；划线掰断后，玻璃基板表面的粉尘颗粒非常多，玻璃粉尘位置在A面，证明粉尘颗粒在掰断（裂片）过程中产生。

ⅱ、粉尘颗粒的控制 

（一）从上面数据中可以看到，A面玻璃粉尘主要裂片过程产生，控制A面的玻璃粉尘非常重要，经过多次实验，根据工业通风除尘系统吸尘罩计算如下：

①.根据吸气口气流运动的规律。吸尘罩是通过罩口的抽吸作用,在距离吸气口一定位置的粉尘散发点(即控制点)上造成适当的空气流动,从而将粉尘吸入罩内。粉尘控制点的空气运动速度称为控制风速Vx(吸入速度)。吸尘罩需要多大的吸风量Q,才能在距离罩口X处达到必要的吸入速度Vx要解决这个问题,必须掌握Q和Vx之间的变化规律。

②.按罩口的平均风速设计计算，要确定伞形吸尘罩的吸气量，吸尘罩的罩口风速是的关键数据，不同的工作状况下要取得比较好的吸尘效果,其罩口风速相差很大。对同一吸尘罩在同一工况下，罩口的中心部分风速和罩口边缘部分风速也不相同，有时也会相差很大。 

吸风量的计算公式如下： 

Q=3600A Vp1                          ⑴

上面公式中：

Q———吸尘罩吸风量,m3/h；

A———罩口面积，m2；

Vp1———罩口平均风速，m/s。

常见罩口形状为矩形和圆形如图1、图2所示。 

罩口面积的计算方法： 

矩形罩口：A=LW                         ⑵

其中：L=l+0.5h                         ⑶

W=w+0.5h                               ⑷

圆形罩口：A=πR2                       ⑸

其中：R=r+0.25h                        ⑹