[发明专利]电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置

权利要求书

1.一种电容式换能器，包括具有多种单元的元件，每个单元包括：

第一电极；

包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及

支持部，支持振动膜以形成间隙，

其中，当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率，并且

其中，多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。

2.根据权利要求1所述的电容式换能器，其中，多种单元的振动膜各自具有相等的弹簧常数。

3.根据权利要求1所述的电容式换能器，

其中，多种单元的振动膜各自具有不同的弹簧常数，并且

其中，在振动膜的弹簧常数大的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率大于在振动膜的弹簧常数小的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。

4.根据权利要求1所述的电容式换能器，

其中，多种单元的振动膜各自具有不同的面积，并且

其中，在振动膜的面积小的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率大于在振动膜的面积大的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。

5.根据权利要求1所述的电容式换能器，

其中，多种单元的振动膜各自具有不同的厚度，并且

其中，在振动膜的厚度大的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率大于在振动膜的厚度小的单元中的所述第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。

6.一种被检体信息获取装置，包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的电容式换能器；

电压施加单元，被配置成在每个单元的第一电极和第二电极之间施加电压；以及

信号处理器，被配置成处理从电容式换能器输出的信号，

其中，电容式换能器被配置成接收声波，并且信号处理器被配置成将通过转换获得的信号处理成电信号，从而获取有关被检体的信息。

7.根据权利要求6所述的被检体信息获取装置，还包括：

被配置成发光的光源；

其中，电容式换能器被配置成接收由从光源发出以照射被检体的光生成的声波，并且信号处理器被配置成将通过转换获得的信号处理成电信号，从而获取有关被检体的信息。

8.一种制造根据权利要求1至5中任一项所述的电容式换能器的方法，所述方法包括：

形成多种单元的第一电极；

在第一电极上形成牺牲层以便形成多种单元中的每个单元的间隙；

在牺牲层上形成多种单元中的每个单元的振动膜的至少一部分；以及

除去牺牲层，

其中，形成牺牲层和形成振动膜的至少一部分包括：设定不同的、多种单元中的每个单元的第二电极的面积与形成多种单元中的每个单元的间隙的牺牲层的面积的比率。