[发明专利]防爆的半导体模块有效
申请号: | 201310275261.X | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN103531544A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 奥拉夫·霍尔费尔德;吉多·伯尼希;乌韦·詹森 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;李慧 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防爆 半导体 模块 | ||
1.一种半导体模块,包括:
导电的下接触件(31)和在垂直方向(v)上与所述下接触件间隔开的、导电的上接触件(32);
数量为N≥1的半导体芯片(1),其中每个所述半导体芯片:
-具有第一负载接口(11)和第二负载接口(12);
-利用所述半导体芯片的所述第二负载接口(12)与所述下接触件(31)导电连接;和
-借助于至少一个在所述第一负载接口(11)上粘合的粘合线(4)与所述上接触件(32)导电连接;
防爆剂(62),所述防爆剂布置在所述第一负载接口(11)和所述上接触件(32)之间,并且所述粘合线(4)中的每个粘合线超过所述粘合线长度的至少80%或至少90%埋入所述防爆剂中。
2.根据权利要求1所述的半导体模块,其中所述防爆剂(62)的熔点至少为1000℃。
3.根据权利要求1或2所述的半导体模块,其中所述防爆剂(62)具有粒料或者设计为粒料。
4.根据前述权利要求中任一项所述的半导体模块,具有由填料(61)或聚酰亚胺(63)组成的覆盖层(61,63),所述覆盖层在所述半导体芯片(1)中的每个半导体芯片的上方从所述半导体芯片的第一负载接口(11)在朝向所述上接触件(32)的方向上延伸,并且所述覆盖层在此处具有厚度(d61,d63),所述厚度最大为所有的在所述第一负载接口(11)上粘合的所述粘合线(4)的最大额定直径的三倍。
5.根据权利要求1所述的半导体模块,其中所述覆盖层(61,63)具有的穿透度小于30。
6.根据权利要求4或5所述的半导体模块,其中所述防爆剂(62)通过所述填料(61)和/或通过所述覆盖层(61,63)与所述半导体芯片(1)中的每个半导体芯片间隔开。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体模块,具有导电的、金属的覆盖层(65),所述覆盖层借助于导电的连接层(66)安置在所述第一负载接口(11)的、背对所述第二负载接口(12)的侧面上,并且通过所述连接层(66)形状配合地并且与所述第一负载接口(11)导电连接。
8.根据权利要求7所述的半导体模块,其中金属的所述覆盖层(65)具有钼或者由钼制成。
9.根据权利要求7所述的半导体模块,其中金属的所述覆盖层(65)具有彼此连续布置的第一金属次层(651)、第二金属次层(652)和第三金属次层(653),其中,所述第二金属次层(652)布置在所述第一金属次层(651)和所述第三金属次层(653)之间。
10.根据权利要求9所述的半导体模块,其中所述第一金属次层(651)和所述第三金属次层(653)具有相同材料或由相同材料制成。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的半导体模块,其中金属的所述覆盖层(65)具有在从0.2mm至2.0mm的范围中的厚度(d65)。
12.根据权利要求7所述的半导体模块,其中金属的所述覆盖层(65)具有铜或由铜制成。
13.根据权利要求12所述的半导体模块,其中金属的所述覆盖层(65)具有在从0.1mm至0.5mm的范围中的厚度(d65)。
14.根据权利要求7至13中任一项所述的半导体模块,其中所述防爆剂(62)直接贴靠在金属的所述覆盖层(65)的、背对所述第二负载接口(12)的侧面上。
15.根据权利要求7至14中任一项所述的半导体模块,其中所述连接层(66)
直接邻接于所述覆盖层(65);和
直接邻接于所述第一负载接口(11);和
设计为焊接层,或者设计为具有烧结的金属粉末的层。
16.根据前述权利要求中任一项所述的半导体模块,其中所述第一负载接口(11)设计为金属化层,所述金属化层具有铝或铜,或由铝或铜制成。
17.根据权利要求16所述的半导体模块,其中所述第一负载接口(11)具有在从7μm至100μm的范围中、或在从10μm至40μm的范围中的厚度(d11)。
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