[发明专利]真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法

权利要求书

1.一种真空密封件分压漏率测量系统，用于测试真空密封件对于特定气体组分的分压漏率，所述真空密封件是能够被密闭的腔体，腔体中内置放气元件，其特征在于：该测量系统包括一个超高真空室(2)、一个测试室(6)、一个样品室(7)，以及一个第一质谱计(3)和一个第二质谱计(5)，其中，

所述超高真空室(2)与所述测试室(6)通过一个小孔(4)相连通，所述测试室(6)通过一个气体管道(14)与所述样品室(7)相连接；

所述超高真空室(2)与一个第一抽气泵组(1)相连接，该第一抽气泵组(1)用于从该超高真空室(2)中抽取气体；

所述样品室(7)用于放置所述真空密封件(8)；

所述第一质谱计(3)和第二质谱计(5)分别与所述超高真空室(2)和所述测试室(6)相连接，以测量该超高真空室(2)和测试室(6)内的气体成分的分压。

2.如权利要求1所述的真空密封件分压漏率测量系统，其特征在于，还包括一个第二抽气泵组(11)和一个气瓶(13)，其中，所述第二抽气泵组(11)用于对所述真空密封件(8)进行抽气，所述气瓶(13)用于对所述真空密封件(8)进行充气。

3.如权利要求2所述的真空密封件分压漏率测量系统，其特征在于，所述第二抽气泵组(11)和气瓶(13)分别通过第一截止阀(10)和第二截止阀(12)与所述真空密封件(8)连接。

4.一种真空密封件分压漏率测量方法，利用权利要求1至3中任一项所述的真空密封件分压漏率测量系统来测量真空密封件对于特定气体组分的分压漏率，其特征在于，该方法包括：

步骤S1、将所述真空密封件注入规定压力的气体并放入所述样品室中，启动所述第一抽气泵组对所述超高真空室进行抽气，同时对整个测量系统进行烘烤除气；

步骤S2、当所述样品室、测试室和超高真空室的压力保持不变时，使用所述第一质谱计和第二质谱计分别测量得到所述超高真空室和测试室的所述气体组分i分压P_i，2和P_i，6；

步骤S3、对所述真空密封件进行抽气，使所述真空密封件与样品室内的气体压力相等，并且，当所述样品室、测试室和超高真空室的压力保持不变时，使用所述第一质谱计和第二质谱计分别测量得到所述超高真空室和测试室的所述气体组分i分压P′_i，2和P′_i，6；

步骤S4、根据步骤S2和步骤S3测得的超高真空室和测试室的气体组分i分压计算真空密封件对气体组分i的分压漏率Q_i，计算公式为：Q_i＝C_i×[(P_i，6-P′_i，6)-(P_i，2-P′_i，2)]，其中C_i为小孔对组分i的流导。