[发明专利]激光加工方法有效
| 申请号： | 201310276618.6 | 申请日： | 2013-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN103537804A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 森数洋司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光加工方法，将重复频率为20kHz以上的脉冲激光光线照射到被加工物来实施激光加工，该激光加工方法的特征在于，
在照射与被加工物的吸收端相同的波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10ps以下，
在照射被加工物的吸收端的9/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100ps以下，
在照射被加工物的吸收端的8/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为1ns以下，
在照射被加工物的吸收端的7/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10ns以下，
在照射被加工物的吸收端的6/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100ns以下，
在照射被加工物的吸收端的2倍波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100fs以下，
在照射被加工物的吸收端的4倍波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10fs以下，
在以脉冲激光光线的波长为纵轴、脉冲宽度为横轴而描绘了所述各波长与脉冲宽度之间的关系的曲线图中，照射如下曲线的下侧区域的脉冲激光光线来实施激光加工，其中，该曲线是将该各波长处的脉冲宽度的极限点连接而成的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310276618.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种融锡专用复合陶瓷石墨坩埚的制备方法
- 下一篇：洗碗机
