[发明专利]一种阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述阻垢缓蚀剂是由下列重量百分比组分组成：

羟基乙叉二膦酸                               5～10%

2-膦羧酸-1.2.4-三羧酸                       10～20%

多氨基多醚基甲叉膦酸                        10～20%

丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸              20～40%

壬基酚聚氧乙烯醚                            1～5%

七水硫酸锌                                  5～10%

苯并三氮唑                                  1～5%

纯净水                                      10～30%。

2.根据权利要求1所述的一种阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述阻垢缓蚀剂是由下列重量百分比的组分组成：5%羟基乙叉二膦酸、15%2-膦羧酸-1.2.4-三羧酸、15%多氨基多醚基甲叉膦酸、8%七水硫酸锌、30%丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、5%壬基酚聚氧乙烯醚、2%苯并三氮唑、20%纯净水。

3. 根据权利要求1所述的一种阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述阻垢缓蚀剂是由下列重量百分比的组分组成：5%羟基乙叉二膦酸、12.5%2-膦羧酸-1.2.4-三羧酸、12.5%多氨基多醚基甲叉膦酸、8%七水硫酸锌、35%丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、5%壬基酚聚氧乙烯醚、2%苯并三氮唑、20%纯净水。

4. 根据权利要求1所述的一种阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述阻垢缓蚀剂是由下列重量百分比的组分组成：5%羟基乙叉二膦酸、10%2-膦羧酸-1.2.4-三羧酸、10%多氨基多醚基甲叉膦酸、8%七水硫酸锌、30%丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、10%壬基酚聚氧乙烯醚、2%苯并三氮唑、25%纯净水。

5. 权利要求1～4任一项所述的一种阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）首先在搅拌釜内加入纯净水和苯并三氮唑后进行搅拌；

（2）然后加入羟基乙叉二膦酸，待溶解后加入七水硫酸锌；

（3）最后依次加入2-膦羧酸-1.2.4-三羧酸、多氨基多醚基甲叉膦酸、壬基酚聚氧乙烯醚，搅拌1h均匀后即制得产品。