[发明专利]一种冷泵再生的控制方法和系统

权利要求书

1.一种冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述冷泵与系统干泵相连，所述方法，包括以下步骤：

接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；

当获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；

关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；

发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生；

当所述等待再生的冷泵完成再生后，释放所述系统干泵的使用权。

2.根据权利要求1所述的冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述方法，还包括以下步骤：

当在第一预设时间段内未申请到所述系统干泵的使用权时，生成第一警报信息。

3.根据权利要求1所述的冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述方法，还包括以下步骤：

当在第二预设时间段内所述等待再生的冷泵未完成再生时，发送再生结束指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生结束指令终止再生；

生成第二警报信息，并释放所述系统干泵的使用权。

4.根据权利要求1所述的冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述冷泵为铜互连物理气相沉积CuBS PVD设备的冷泵；

其中，所述铜互连物理气相沉积CuBS PVD设备包括传输腔室、去气工艺腔室、预清洗工艺腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室；

所述传输腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室分别与一个冷泵相连；

所述系统干泵与所述传输腔室、去气工艺腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室相连。

5.根据权利要求1所述的冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述系统干泵具有对应的系统干泵上位机，所述系统干泵上位机用于在系统干泵的使用权被占用时，标记所述系统干泵状态为占用；在系统干泵的使用权被释放时，标记所述系统干泵状态为空闲。

6.一种冷泵再生的控制系统，其特征在于，所述冷泵与系统干泵相连，所述系统，包括以下模块：

使用权申请模块，用于接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；

抽气阀关闭模块，用于在获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；

门阀关闭模块，用于关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；

再生启动指令发送模块，用于发送再生启动指令至所等待再生的述冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生；

第一使用权释放模块，用于在所述等待再生的冷泵完成再生时，释放所述系统干泵的使用权。

7.根据权利要求6所述的冷泵再生的控制系统，其特征在于，所述系统，还包括以下模块：

第一警报生成模块，用于在在第一预设时间段内未申请到所述系统干泵的使用权时，生成第一警报信息。

8.根据权利要求6所述的冷泵再生的控制系统，其特征在于，所述系统，还包括以下模块：

再生结束指令发送模块，用于在在第二预设时间段内所述等待再生的冷泵未完成再生时，发送再生结束指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生结束指令终止再生；

第二警报信息生成模块，用于生成第二警报信息；

第二使用权释放模块，用于释放所述系统干泵的使用权。

9.根据权利要求6所述的冷泵再生的控制系统，其特征在于，所述冷泵为铜互连物理气相沉积CuBS PVD设备的冷泵；

其中，所述铜互连物理气相沉积CuBS PVD设备包括传输腔室、去气工艺腔室、预清洗工艺腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室；

所述传输腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室分别与一个冷泵相连；

所述系统干泵与所述传输腔室、去气工艺腔室、铜阻挡层工艺腔室和铜籽晶层工艺腔室相连。

10.根据权利要求6所述的冷泵再生的控制系统，其特征在于，所述系统干泵具有对应的系统干泵上位机，所述系统干泵上位机用于在系统干泵的使用权被占用时，标记所述系统干泵状态为占用；在系统干泵的使用权被释放时，标记所述系统干泵状态为空闲。