[发明专利]一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构及其制作方法无效
申请号: | 201310283051.5 | 申请日: | 2013-07-05 |
公开(公告)号: | CN103341372A | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 常洪龙;洪水金;寻文鹏;冯建国 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00;G01N15/14 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 吕湘连 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 细胞 微流控 芯片 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构,其特征在于:主要包括样品液入口(1)、状阵列结构(6)、锥形聚焦结构(7)、微通道(8)、检测区(4)、扩流通道(9)、废液出口端(5);所述柱状阵列结构(6)位于锥形聚焦结构(7)靠近样品液入口(1)处,相邻两排微柱之间的尺寸间隔为d1,d1满足:d0<d1<d2,其中,d0为注入样品液中最大细胞直径,d2为微通道(8)的横截面宽度;锥形聚焦结构(7)的聚焦效果,使得细胞颗粒单个流入微通道(8);微通道(8)通过通道束缚细胞使其单个通过检测区(4),微通道(8)横截面宽度d2满足:d0<d2<1.5d0,检测区(4)为光学检测系统检测光束照亮的区域;扩流通道(9)主要实现对检测后的废液进行疏散;废液出口端(5)用于连接引出芯片的导管,使得废液流出整个微流控芯片。
2.一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构,其特征在于:所述锥形聚焦结构(7)展开角度20°~60°。
3.一种如权利要求1或2所述微流控芯片结构的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤1:清洗单抛硅片基底;
步骤2:在经过清洗的硅基底抛光面上涂敷厚度为1.5d0的SU-8光刻胶;
步骤2:以微流控芯片结构为掩模版结构,利用紫外光对SU-8光刻胶进行曝光;
步骤4:对经过曝光后的SU-8光刻胶进行显影,形成所需的SU-8结构,从而获得相对应的SU-8阳模具;
步骤5:用铝箔纸将所获得的SU-8阳模具围起来形成一个浇铸模具;
步骤6:将PDMS预聚体与偶联剂混合物抽真空后倒入浇铸模具,并将其置于烤箱中烘烤固化;
步骤7:将铝箔纸与固化后的PDMS及硅基底剥离,并将固化后的PDMS与模具剥离,得到所需的PDMS结构;
步骤8:利用打孔器在PDMS结构对应位置上打出所需的样品液注入口和废液出口,从而得到所需的微流控芯片结构;
步骤9:将步骤8所得的微流控芯片结构及载玻片清洗干净并吹干,后利用氧等离子体对微流控芯片结构和载玻片的贴合表面进行处理,最后将两者贴合在一起;
步骤10:将步骤9所得贴合组件放入烤箱中烘烤,冷却取出得到具有细胞聚焦功能微流控芯片。
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