[发明专利]插入式气动真空输送阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种无尘的、输送板件的真空阀门，属于真空机械范畴，具体来说，本发明涉及一种插入式气动真空输送阀。

背景技术

随着国民经济的不断发展，大量外资纷纷进入中国，给中国的半导体事业带来飞速发展。然而在半导体工业设备中，大量需要的一种无尘埃、无微细颗粒、超长的（如3.5米）、开关速度较快的（如3秒内）、工作频率极高的、能输送大面积的极薄的平板玻璃的这类阀门。

这类阀门在国内是空白，世界上仅瑞士VAT和日本有，需要时全靠进口。现在外资企业为降低成本，希望在国内购买。所以国内厂商及外商都急切需要这类阀门。

本申请人在全力以赴开发此类产品，来适应市场，满足市场及用户需求，为国家填补“空白”，为加速国民经济发展及中国真空事业的发展做贡献。

此类阀门的特点及要求是：

1、要求在阀门开关运动过程中不产生尘埃及微粒；装配在小于10万级净化室中进行。尘埃不得超过（0.04个/cm²～0.007个/cm²）；寿命大于13万次/年；要求每季定期更换密封件（装拆方便）。

2、设计首先要考虑每个零件的功能、寿命及产生尘埃的可能，其中重要零件必须进行科学理论计算和实验。

3、该阀的阀芯需采用特殊结构。因为它期望有整体性、多点性、易装拆、易维护、易更换等特性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种插入式气动真空输送阀，能够应用于半导体工业设备的真空系统中，接通前后箱室，实现自动化控制开关、输送板件和工艺过程。

为解决上述技术问题，本发明提供一种插入式气动真空输送阀，包括阀体部件、阀盖部件、阀芯部件、气缸部件和轴封部件；

所述阀体部件具有开口侧和封合侧，其腔体内装载所述阀芯部件、所述气缸部件和所述轴封部件，其上安装有所述阀盖部件，将所述腔体密封；

所述阀盖部件包括一长形阀盖和位于所述阀盖两端的导向柱，所述导向柱对所述阀盖起定位、导向和同步作用；

所述阀芯部件位于所述阀体部件的腔体内，能独立上下运动，对所述阀进行开、关密封动作；

所述气缸部件的数量为多个，平均分布于所述阀体部件的腔体内，对所述阀提供自动化开、关的驱动力并对所述阀的开、关进行缓冲；

所述轴封部件连接于所述阀芯部件和所述气缸部件之间，将所述气缸部件的阀杆与大气隔开而密封。

可选地，所述气缸部件的数量为3个或3个以上。

可选地，所述轴封部件包括轴封部件本体、连接件、衬套和波纹管；所述波纹管包裹于所述轴封部件本体的外侧，并一起套入于所述连接件内；所述连接件一端与所述阀盖连接，另一端插入所述衬套。

可选地，所述气缸部件包括下缸盖、阀杆、缸体、活塞、第一阀针、第二阀针、观察罩、信号杆、上缸盖、第一O形圈、第一密封件、钢球、磁环、螺钉、第二密封件、第三密封件和第二O形圈；

其中，所述活塞通过其上的所述第一O形圈和所述第一密封件与所述缸体形成滑动密封；所述阀杆与所述活塞之间通过所述钢球和所述磁环连接；所述下缸盖和所述上缸盖套于所述缸体的两端并固定。

可选地，所述阀芯部件包括一阀板、一支撑板和一钢球架；所述钢球架上分布有多对钢球，所述阀板和所述支撑板夹合所述钢球架，并将所述钢球容纳于所述阀板和所述支撑板内侧的凹坑中；所述阀板和所述支撑板之间还固定连接有多对纵向设置的弹簧片和多对横向设置的弹簧板，每对所述弹簧片和每对所述弹簧板的端部均通过螺栓或者螺钉连接，中部则分别与所述阀板和所述支撑板相连接；所述钢球架的左右两端分别具有两个天地轮和两个左右轮，便于使所述钢球架承载着多对所述钢球在所述阀板与所述支撑板之间纵向往复运动。

可选地，所述气缸部件和所述轴封部件连接的所述阀盖之间通过弹垫和螺钉连接固定。

可选地，所述阀芯部件和所述轴封部件的所述轴封部件本体之间通过销轴、卡圈、盖帽和螺钉将其连接固定。

本发明的阀门的开关原理、结构特点以及用途：

1、原理：

阀门关闭：通过气缸推动阀芯到腔底，再继续推钢球出钢球坑到板平面，阀关闭。

阀门开启：通过气缸拉动，钢球回到钢球坑中，由弹簧力收拢两板后，再继续提升阀芯到腔顶，阀开启。

2、结构特点：

1）多气缸同步很难达到，且电控复杂。采取措施：

①采用一个换向阀控制三个气缸，并使进气压力相等。

用差异节流阀微调来实现同步。

②阀芯上下运动左右设置导向柱和天地轮。