[发明专利]超声扫描显微镜步进轴的双驱结构

权利要求书

1.一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，包括：基座（8）、左驱动单元（1）、右驱动单元（2）、前支撑梁（7）、后支撑梁（6）以及X向横梁（5），其中，后支撑梁（6）在后侧对接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），前支撑梁（7）在前侧对接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），X向横梁（5）连接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），左驱动单元（1）和右驱动单元（2）驱动X向横梁（5）前后移动。

2.根据权利要求1所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，

所述左驱动单元（1）包括：与基座（8）连接固定的左立座（14）、与左立座（14）连接固定的左U形座（13）、左导向装置以及左驱动装置，其中，左导向装置安装在左U形座（13）上，左驱动装置分别与左导向装置和X向横梁（5）连接；

所述右驱动单元（2）包括：与基座（8）连接固定的右立座（20）、与右立座（20）连接固定的右U形座（19）、右导向装置以及右驱动装置，其中，右导向装置安装在右U形座（19）上，右驱动装置分别与右导向装置和X向横梁（5）连接。

3.根据权利要求2所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，

所述左驱动单元（1）的组成为：与左U形座（13）连接固定的左支架（9）、分别与X向横梁（5）及左支架（9）连接固定的左直线导轨副（12）构成左导向装置；与左支架（9）连接固定的左直线电机定子（10）、与X向横梁（5）连接固定的左直线电机动子（11）构成左驱动装置；

所述右驱动单元（2）的组成为：与右U形座（19）连接固定的右支架（15）、分别与X向横梁（5）及右支架（15）连接固定的右直线导轨副（18）构成右导向装置；与右支架（15）连接固定的右直线电机定子（16）、与X向横梁（5）连接固定的右直线电机动子（17）构成右驱动装置。

4.根据权利要求3所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，左U形座（13）上两面阵列分布有调节螺钉I（13-1），右U形座（19）上两面阵列分布有调节螺钉II（19-1），用于对左支架（9）与右支架（15）进行互为平行的调整。

5.根据权利要求4所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，该双驱结构还包括：左定位单元（3）、右定位单元（4），其中，左定位单元（3）设置在左驱动单元（1）中、右定位单元（4）设置在右驱动单元（2）中。

6.根据权利要求5所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，左定位单元（3）包括左直线光栅调整装置，右定位单元（4）包括右直线光栅调整装置，其中，

左直线光栅调整装置包括：固定于X向横梁（5）的左读头座（23）、安装于左读头座（23）的左光栅读数头（24）、安装于左支架（9）的左光栅标尺衬板（22）、以及粘接固定于左光栅标尺衬板（22）的左光栅标尺（21）；左光栅读数头（24）依托左读头座（23）上的长槽（23-1）可进行直线位移，以调节左光栅读数头（24）与左光栅标尺（21）间的侧隙量值；

右直线光栅调整装置包括：固定于X向横梁（5）的右读头座（27）、安装于右读头座（27）的右光栅读数头（28）、安装于右支架（15）的右光栅标尺衬板（26）、以及粘接固定于右光栅标尺衬板（26）的右光栅标尺（25）；右光栅读数头（28）依托右读头座（27）上的长槽（27-1）可进行直线位移，以调节右光栅读数头（28）与右光栅标尺（25）间的侧隙量值。

7.根据权利要求6所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，左光栅标尺衬板（22）上阵列分布有调节螺钉III（22-1），右光栅标尺衬板（26）上阵列分布的调节螺钉IV（26-1），以X向横梁（5）为测量基准，通过手动小步距移动X向横梁（5），用于对左光栅标尺衬板（22）与右光栅标尺衬板（26）进行有效行程内直线度量值的调整，同时用于对左光栅标尺衬板（22）与右光栅标尺衬板（26）跨距间平行参数进行调整。

8.根据权利要求3所述的一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，还包括机械限位装置，机械限位装置由分别固定于左支架（9）和右支架（15）上的限位座（30）、以及与限位座（30）连接的缓冲块（29）构成。