[发明专利]飞秒激光微加工的同步监测装置

权利要求书

1.飞秒激光微加工的同步监测装置，包括一台飞秒激光器（1），其特征在于，构成还包括：沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次设有两个平行全反射镜（2、2‘）、衰减片（3）、偏振片（4）、分束棱镜（5）、两个光阑（6、6‘），快门（7）、聚焦透镜（8）和加工对象（16），所述加工对象（16）固定在旋转平移装置（9）上并使光阑（6、6‘）中心与加工对象（16）的竖直中心线在同一平面上，在所述旋转平移装置（9）上还固定有L型支架（10），所述L型支架（10）上设置有监测用的CCD（11），所述旋转平移装置（9）、所述CCD（11）和所述L型支架（10）均通过信号线与计算机（21）相连。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分束棱镜（5）将飞秒激光分成两束能量完全相同的两束光，一束沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路，用于加工，而另一束沿另一条光路进入功率计（17），作为能量的标本对飞秒激光的能量进行测量。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述旋转平移装置（9）包括精密位移台（12），旋转台（13）、上一维平移台（14）和下一维平移台（14‘），所述精密位移台（12）设在旋转台（13）上，所述旋转台（13）设在上一维平移台（14）上，所述上一维平移台（14）与下一维平移台（14‘）呈十字交叉滑动连接，上一维平移台（14）可进行左右移动、下一维平移台（14‘）可进行前后移动，所述加工对象（16）固定在旋转平移装置（9）中的精密位移台（12）上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述旋转平移装置（9）与计算机（21）相连是指精密位移台（12）和上、下一维平移台（14、14‘）与计算机（21）相连接，以实现自动控制。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述L型支架（10）由小型平移台（15）、L型支杆（19）、固定托架（18）和旋转轴构成，所述L型支杆（19）是设有两个拐点的杆状件，其上端和下端分别与固定托架（18）和小型平移台（15）固定连接，在中部两个拐点处分别安装第一、第二旋转轴（20、20‘），所述固定托架（18）用于设置监测用的CCD（11），所述小型平移台（15）设置在旋转平移装置（9）中的上一维平移台（14）上并与计算机（21）相连，所述L型支架（10）利用其小型平移台（15）和第一、第二旋转轴（20、20‘）调节CCD（11）与激光焦点同步以及其与加工对象（16）的距离。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述L型支杆（19）是设有两个直角拐点的杆状件，其上端与固定托架（18）固定连接，其下端杆成垂直地固定在小型平移台（15）上，在中部的两个直角拐点处分别安装第一旋转轴（20）和第二旋转轴（20‘），第一旋转轴（20）实现其上段支架部分绕垂直于底面小型平移台（15）面的轴向旋转，而第二旋转轴（20‘）实现其上段支架部分绕平行于底面小型平移台（15）面的轴向旋转。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述两个光阑（6、6‘）是等高共线的，使入射光束保持固定。