[发明专利]一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法有效
申请号: | 201310289987.9 | 申请日: | 2013-07-10 |
公开(公告)号: | CN103332682A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 吕鹏;张梓晗 | 申请(专利权)人: | 合肥微晶材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 何梅生 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 屏幕 覆膜机 叠加 转移 大面积 石墨 方法 | ||
1.一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于按如下步骤进行:
a、将上表面生长有石墨烯的铜箔剪裁至面积不大于100cm×100cm,将面积不小于所述铜箔的屏幕膜覆盖在所述铜箔的上表面;用覆膜机的滚轴在所述屏幕膜上加压,使屏幕膜粘附在铜箔上表面的石墨烯上,形成铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构;
b、将所述铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构以所述屏幕膜朝上放入铜箔刻蚀液中刻蚀,去除铜箔基底,形成漂浮在铜箔刻蚀液表面的石墨烯/屏幕膜的复合层;然后将所述石墨烯/屏幕膜的复合层转移到去离子水中清洗并在室温下自然晾干,晾干时间不少于10分钟;
c、将石墨烯/屏幕膜的复合层以石墨烯朝下放在目标基底上,将覆膜机加热到120℃-160℃,用覆膜机的滚轴将石墨烯/屏幕膜的复合层和目标基底滚压在一起,石墨烯与屏幕膜分离并转移到目标基底上,调整覆膜机的滚轴速度使滚压过程的时间为20-100秒;
d、以转移有一层石墨烯的目标基底作为第二次转移的目标基底,重复步骤a、b和c,在目标基底的一层石墨烯上覆盖第二层石墨烯,依次类推,直至在目标基底上转移n层石墨烯,n不大于15。
2.根据权利要求1所述的用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于:所述覆膜机为硅胶滚轴的覆膜机或硅胶滚轴的塑封机。
3.根据权利要求1所述的用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于:所述铜箔刻蚀液为质量浓度为1%-20%的过硫酸铵的水溶液。
4.根据权利要求1所述的用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于:所述目标基底为氧化硅基底、硅基底、PET基底或玻璃基底。
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