[发明专利]气体传感器用声表面波敏感器件

权利要求书

1.一种气体传感器用声表面波敏感器件，其包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器，其特征在于：

该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。

2.根据权利要求1所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：

该交叠区域的大小与该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器所占面积较小的一个的面积相同。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一双端声表面波谐振器包括两个第一叉指换能器，该第二双端声表面波谐振器包括两个第二叉指换能器；该两个第一叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长；该两个第二叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长。

4.根据权利要求3所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一双端声表面波谐振器还包括两个第一反射栅，该第二双端声表面波谐振器还包括两个第二反射栅；该两个第一叉指换能器位于该两个第一反射栅之间，该两个第二叉指换能器位于该两个第二反射栅之间。

5.根据权利要求4所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器和该第一表面上的吸附膜。

6.根据权利要求5所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器上并且位于该吸附膜与该第一双端声表面波谐振器之间的第一钝化膜。

7.根据权利要求6所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一表面上未被该第一双端声表面波谐振器覆盖的区域有该第一钝化膜；该第一钝化膜被该吸附层覆盖。

8.根据权利要求5所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层第二钝化膜，该第二钝化膜覆盖该第二双端声表面波谐振器及该第二表面。

9.根据权利要求8所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一钝化膜和该第二钝化膜为二氧化硅或氮化硅。

10.根据权利要求8所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：每个第二叉指换能器包括两个相对平行设置的汇流条以及多个位于该两个汇流条之间的指条，该第二钝化膜覆盖该多个指条及该第二反射栅；该气体传感器用声表面波敏感器件还包括电连接用焊盘，该焊盘通过银浆与该第二叉指换能器的汇流条电连接。