[发明专利]离子氮化炉

权利要求书

1.一种离子氮化炉，包括炉体（1）、炉底盘（9）、冷却装置和进气抽气系统，炉体（1）与炉底盘（9）扣合形成炉腔，其特征在于：炉腔内设置阴极盘（7），阴极盘（7）通过底盘支柱（11）连接炉底盘（9），阴极盘（7）上设置阴极工装（6）、阴极支柱（16），阴极盘（7）上方设置阴极盖板（3），阴极盖板（3）通过阴极支柱（16）支撑。

2.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的冷却装置包括夹层水胆（2），夹层水胆（2）设置在炉体（1）、炉底盘（9）夹层内，炉体（1）、炉底盘（9）上分别设置进水口（10）、出水口（14）与夹层水胆（2）相连，进水口（10）设置强、中、弱三路进水。

3.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的进气抽气系统包括进气口（12）、抽气管（17），抽气管（17）一端连接炉底盘（9）中部，另一端深入炉腔内且端部管口高于阴极盖板（3）上表面，进气口（12）设置在炉底盘（9）上。

4.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的进气抽气系统包括进气口（12）、抽气口（20），进气口（12）设置在炉体（1）上部，抽气口（20）设置在炉底盘（9）中间部位。

5.根据权利要求1、3或4所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的炉底盘（9）与阴极盘（7）之间设置气体分流屏（15），气体分流屏（15）为中间开孔的圆盘。

6.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的阴极工装为上圆柱体（6.1）、下圆柱体（6.2）组成，上圆柱体（6.1）与下圆柱体（6.2）同轴，且上圆柱体（6.1）直径小于下圆柱体（6.2）。

7.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的阴极盖板（3）与阴极盘（7）之间设置环形辅助保温盘（19）。

8.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的阴极盖板（3）上设置圆柱形凸起。

9.根据权利要求1或6所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的阴极工装（6）分内圈、中圈、外圈环向均匀布置在阴极盘（7）上，分布在内圈阴极工装（6）之间的间距及中圈阴极工装（6）之间的间距大于分布在外圈阴极工装（6）之间的间距。

10.根据权利要求1所述的离子氮化炉，其特征在于：所述的炉底盘上设置热电偶探头（5），热电偶探头（5）深入到炉腔氮化区中间部位。