[发明专利]衬底保持装置

权利要求书

1.一种衬底保持装置，该衬底保持装置具有多个保持件，该保持件沿衬底的边缘部而设置，并且夹持该衬底的边缘部而保持衬底，其特征在于,

这些保持件以上述衬底的中心为基准，相对且呈辐射状设置，在各面对部位，沿相反方向拉伸上述衬底的同时夹持衬底。

2.根据权利要求1所述的衬底保持装置，其特征在于，上述保持件按照相对该衬底能自由调整角度的方式设置。

3.根据权利要求1或2所述的衬底保持装置，其特征在于，上述保持件具有用于调整保持力的保持力调整机构。

4.根据权利要求1～3所述的衬底保持装置，其特征在于，上述保持件具有用于夹持该衬底的臂；

上述臂相对上述衬底，以能从其表面侧自由旋转的方式设置。

5.根据权利要求4所述的衬底保持装置，其特征在于，在上述臂上设置与上述衬底接触的附件，其接触面在沿上述臂的纵向的直线上呈圆弧状鼓起。

6.根据权利要求4或5所述的衬底保持装置，其特征在于，上述臂可沿远离上述衬底的方向开放，并且该开放时的臂的角度按照相对衬底表面，以90°以上而打开的方式设定。

7.根据权利要求1～6中的任何一项所述的衬底保持装置，其特征在于，上述保持件为肘节夹具。