[发明专利]大型浸没式环抛机有效

专利信息
申请号: 201310293836.0 申请日: 2013-07-12
公开(公告)号: CN103372805A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 顿爱欢;顾建勋;陈国凯;吴福林;张宝安;徐学科 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 大型 浸没 式环抛机
【权利要求书】:

1.一种大型浸没式环抛机,其特征在于该环抛机包括一个由电机(1)驱动的大理石抛光盘(5)和一个储液槽(8),该储液槽(8)为环形槽,该环形槽的内侧圆周通过紧固螺钉固定在大理石抛光盘(5)的外侧边缘的圆周上,在所述的大理石抛光盘的上表面浇注一层均匀的抛光胶盘(9),在该抛光胶盘(9)上放置一块圆形的玻璃校正盘(10),所述的抛光胶盘(9)和玻璃校正盘(10)均置于储液槽(8)中;所述的储液槽(8)内供抛光液储存并在边缘挡板上标有精确刻度以精确控制注入的抛光液深度;该储液槽(8)的底部设有出液管经第一开关(7)通向回收槽(4);该回收槽(4)呈环状位于所述的大理石抛光盘(5)的周围,该回收槽(4)底部设有两个出液管,其中第一出液管经第二开关(3)通向废液罐(2),第二出液管经第三开关(6)通向回收罐(18),该回收罐(18)中设有第一磁力搅拌器(19),该回收罐(18)通过管道经第四开关(17)与抛光液过滤设备(16)相通,该回收罐(18)中搅拌均匀的抛光液在压力泵(20)的作用下经第四开关(17)进入所述的抛光液过滤设备(16),压力泵(20)的功率由功率调节器(21)控制;所述的抛光液过滤设备(16)通过管道经第五开关(14)、具有第二磁力搅拌器(25)的搅拌槽(13)和设置在抛光胶盘上的喷嘴装置(11)相连,在所述的管道上在搅拌槽(13)和设置在抛光胶盘上的喷嘴装置(11)之间设有流量计(12)。

2.根据权利要求1所述的大型浸没式环抛机,其特征在于:所述的抛光液过滤设备(16)置于一个容槽(23)内的支撑台上,该容槽(23)底部设有带第六开关(22)的出液管,用于排出抛光液过滤设备(16)中泄露的废液或清洗的废液;注入抛光液过滤设备(16)中的抛光液的压力由压力计(15)监测;抛光液过滤设备(16)采用过滤膜分级过滤方式,最高可以对抛光液进行十级过滤处理;不同精度的抛光液过滤膜按照次序贴在抛光液过滤设备(16)的不锈钢盘片上并通过螺旋杆(24)压紧;抛光液过滤设备(16)的不锈钢盘片上设有规则的沟槽和小孔便于抛光液流动,不锈钢盘片之间设有橡胶垫片,防止抛光液的泄露。

3.根据权利要求1所述的大型浸没式环抛机,其特征在于:所述的该储液槽(8)与所述的大理石抛光盘(5)的环状接触部位采用硅胶密封。

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