[发明专利]探针台旋转升降机构

权利要求书

1.一种探针台旋转升降机构，其特征在于，包括升降控制装置、旋转控制装置和承片装置；

所述升降控制装置包括升降电机、联轴器、升降丝杠、升降螺母、滚珠花键座、滚珠花键升降杆，所述升降电机的转轴和所述升降丝杠的一端通过所述联轴器固定连接，所述升降螺母上设有内螺纹滚道，所述升降丝杠上设有与所述内螺纹滚道匹配的外螺纹滚道，所述升降螺母套设在所述升降丝杠上，所述滚珠花键升降杆和所述升降螺母固定连接，所述滚珠花键升降杆远离所述升降电机的一端与所述承片装置固定连接，所述滚珠花键升降杆安装在所述滚珠花键座的内部；

所述承片装置固定在所述旋转控制装置上，所述承片装置和所述旋转控制装置作为一个整体固定在所述升降控制装置上。

2.根据权利要求1所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述旋转控制装置包括主轴承座支架、旋转电机、摆动轴承座、次轴承座支架、摆动螺母座、旋转螺母、旋转丝杠，所述旋转电机的转轴与所述旋转丝杠的一端通过所述摆动轴承座固定连接，所述摆动轴承座安装在所述主轴承座支架内，所述主轴承座支架和所述承片装置固定连接，所述旋转丝杠的另一端穿出所述旋转螺母，所述旋转螺母安装在所述摆动螺母座上，所述摆动螺母座安装在所述次轴承座支架内，所述次轴承座支架和所述承片装置固定连接。

3.根据权利要求2所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述承片装置包括花键升降杆连接板、连接组件、承片台过渡板和承片台，所述承片台过渡板和所述承片台固定在一起，所述花键升降杆连接板和所述承片台过渡板通过所述连接组件转动连接。

4.根据权利要求3所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述连接组件包括交叉滚子轴承和过渡板安装座，所述过渡板安装座通过所述交叉滚子轴承装配在所述花键升降杆连接板上，所述过渡板安装座和所述承片台过渡板固定连接。

5.根据权利要求4所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述次轴承座支架和所述过渡板安装座固定连接。

6.根据权利要求3所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述主轴承座支架和所述花键升降杆连接板固定连接。

7.根据权利要求1所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述滚珠花键升降杆为筒状，所述升降丝杠和所述升降螺母位于所述滚珠花键升降杆内侧。

8.根据权利要求1所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述升降控制装置还包括角接触球轴承，所述角接触球轴承套设在所述升降丝杠上且位于所述升降螺母和所述升降电机之间。

9.根据权利要求6所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述角接触球轴承的数量为2个。

10.根据权利要求1所述的探针台旋转升降机构，其特征在于，所述升降控制装置还包括轴承座，所述轴承座安装在所述滚珠花键座的底部，所述升降电机固定在所述轴承座上。