[发明专利]大型环抛机抛光胶盘的开槽装置无效

专利信息
申请号: 201310294582.4 申请日: 2013-07-12
公开(公告)号: CN103372812A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 顿爱欢;顾建勋;张宝安;徐学科 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017;B24B53/12
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 大型 环抛机 抛光 开槽 装置
【说明书】:

技术领域

本发明涉及大型环形抛光机,特别是一种大型环抛机抛光胶盘的开槽装置。

背景技术

环形抛光技术是目前世界上几乎唯一的大口径、全局化平面光学元件加工技术,它是将待抛光工件在一定的压力及抛光液的存在下相对于抛光胶盘做旋转运动,借助磨粒的机械磨削作用以及化学氧化剂的腐蚀作用来完成对工件表面的材料去除并获得光洁表面。与其它技术相比,这种技术可以同时实现大口径工件的局部和全局平面化,能够消除工件表面的高点和波浪形,消除高频缺陷,表面加工质量能够达到超光滑的程度;平面化速度快,加工精度高,应用范围广,生产成本低,适合工业大规模推广。环抛机是这种技术的主要载体。随着现代科学技术的飞速发展,光学元件的通光口径和加工精度要求越来越高,因此环抛机也向大型化、自动化的方向发展,台面直径由原来的1m、1.2m逐渐发展到目前的2.4m,2.8m甚至4m以上等,而且机械化、自动化程度越来越高。一般来说,环抛机主要包括一个由电机2驱动旋转的大理石抛光盘3,该抛光盘的上表面浇注一层厚度均匀的抛光胶盘4,参见图1(a)所示。当环抛机开始工作时,将待加工工件平放在抛光胶盘4上,同时开动电机2驱动抛光盘3以一定的速度绕中心旋转。在抛光胶盘4运动摩擦力的作用下,工件在抛光胶盘4上做无规则的移动或转动,并与抛光胶盘4产生相对运动,从而对工件与抛光胶盘的接触面进行材料去除以获得光滑表面。由上述可知,抛光胶盘的平整度和质量性能对工件最终的抛光效果影响极大。

由于现代科学技术的飞速发展,很多领域对光学元件的表面面形精度要求非常高,因此对抛光胶盘4的平面度要求也越来越高。抛光胶盘浇注好后,需要将抛光胶面修平并在表面上开槽和修刮,这一方面便于容纳更多的抛光液并及时排出磨削杂质,另一方面便于水分的循环流动,使抛光过程中产生的热量及时散发,保证抛光胶盘的面形稳定。虽然在使用过程中有一校正盘对抛光胶盘的面形进行实时修整,但是抛光胶盘在使用一段时间后,表面的平整度变差,抛光胶盘不同位置的去除率发生变化;同时抛光胶盘表面一层老化严重,抛光粉的附着能力降低,工件的去除率减小,不利于工件的继续抛光,需要重新对整个抛光胶盘进行开槽修整;另外,根据实际加工经验,不同的开槽方式对工件的去除率不同,加工效果也不同,因此需要开发多样化的开槽方式以得到最佳的加工效果。在目前阶段,大型环抛机的抛光胶盘开槽工作主要由工人凭经验完成,机械化和确定性程度很低,而且开槽方式也以直线形槽为主,方式单一,无法达到最佳效果;另外,现代大型环抛机直径往往达4m以上,一般每天要对胶盘修整1~2次,2个工人修整一次抛光胶盘往往需要耗费2个小时以上才能完成,劳动强度大,操作不可控,工作效率低,更重要的是修整质量不高,标准化程度低,不能实现抛光的确定性加工。

发明内容

本发明目的在于克服现有依靠工人经验的人工作业方式和开槽方式单一化的现状,提出一种大型环抛机的抛光胶盘的开槽装置,该开槽装置可实现大型环抛机抛光胶盘开槽的机械化和开槽方式的多样化,有利于大型环抛机实时监控和检测的定量化,提高了环抛机的整体集成化和自动化程度并优化工艺路线。

本发明的技术解决方案如下:

一种大型环抛机抛光胶盘的开槽装置,包括由第一电机驱动旋转的大理石抛光盘,该大理石抛光盘的上表面浇注一层均匀的抛光胶盘,特点在于其构成包括:在所述的大理石抛光盘外侧设立一落地支撑立柱,在所述的支撑立柱上端和通过抛光胶盘中心上方的中心柱之间设有水平横梁,在该水平横梁的下方设有水平导轨,所述的水平导轨由第三电机驱动控制下绕所述的抛光胶盘中心柱在一定角度范围内来回摆动;所述的水平导轨上设有拖板和两个限位卡,所述的拖板由第二电机驱动在所述的水平导轨上的两个限位卡之间沿抛光胶盘的径向往复运动,所述的拖板上设有开槽铣刀插口、锯齿形刮刀插口、第一螺旋位移调节器和第二螺旋位移调节器,开槽铣刀插设在所述的开槽铣刀插口中,锯齿形刮刀插设在所述的锯齿形刮刀插口中,第一螺旋位移调节器调节所述的开槽铣刀的高度、进给和施压;所述的第二螺旋位移调节器调节所述的修槽刮刀的高度、进给和施压。

所述的锯齿形刮刀为锯齿形结构,根据实际需要更换不同规格的刮刀,刮刀的不同规格体现在锯齿个数和锯齿齿距上。

利用上述的大型环抛机抛光胶盘的开槽装置的开槽方式,包括双曲线、法向正弦曲线、径向正弦曲线、螺旋线及其组合的开槽方式。

本发明专利的优点是:

1、本发明依靠螺旋位移调节装置进行开槽铣刀和刮刀的进给量和施加压力的调节和控制,操作简单,便于工人现场作业。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所,未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310294582.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code