[发明专利]一种应用于物联网终端的LC无源无线微型湿度传感器无效
| 申请号： | 201310299010.5 | 申请日： | 2013-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN103543175A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 娄利飞;杨银堂;董刚;李小菲 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 联网 终端 lc 无源 无线 微型 湿度 传感器 | ||
1.一种应用于物联网终端的LC无源无线微型湿度传感器，
其特征在于，该LC无源无线微型湿度传感器包括：
柔性基板，采用柔性PCB材料及PI材料制成；
LC金属层，设置在所述柔性基板的上部，采用铜金属材料制成；
湿敏介质层，设置在所述LC金属层的上部；
石蜡保护层，设置在所述湿敏介质层的上部，用于进行绝缘隔离。
2.如权利要求1所述的LC无源无线微型湿度传感器，其特征在于，柔性基板的长度、宽度和厚度分别为46.5×31.5×0.35mm。
3.如权利要求1所述的LC无源无线微型湿度传感器，其特征在于，所述LC金属层的长度为38.2mm，宽度为23mm。
4.如权利要求1所述的LC无源无线微型湿度传感器，其特征在于，所述LC金属层中铜金属的厚度为0.02mm，叉指电容C为18组，叉指长为20.9mm，叉指宽度为0.5mm，叉指间距为0.1mm，叉指电容组的长度为23mm，宽度为13.2mm；
螺旋电感线圈内边长为7.6mm，外边长为23mm，线圈宽度为0.5mm，线圈间距为0.1mm，叉指电容组和螺旋电感线圈的间距为2mm；
所述湿敏介质层为湿敏PI材料制成的薄膜，并均匀涂敷在所述LC金属层中叉指电容组的铜金属层间，所述湿敏介质层的厚度为0.001mm；
所述石蜡保护层完全覆盖在所述LC金属层上的螺旋电感线圈部分，厚度为0.1mm。
5.如权利要求1所述的LC无源无线微型湿度传感器，其特征在于，所述湿敏介质层的介电常数为3.6。
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