[发明专利]半导体激光合束装置

权利要求书

1.一种半导体激光合束装置，包括：半导体激光堆阵，以及沿光路依次设置的快轴准直镜组、第一柱面镜、第一衍射光栅、第二柱面镜，和窄条部分反射镜，所述第一衍射光栅放置为与所述第一柱面镜的光轴成30-60°的角度；所述窄条部分反射镜的反射区域宽度为50um-200um；所述窄条部分反射镜的反射区域为矩形分布或高斯型分布；

所述窄条部分反射镜的反射区域的反射率为5-15％，增透区域T镀有增透膜。

2.如权利要求1所述的半导体激光合束装置，其中，所述第一衍射光栅的光栅密度在1000-1800线/mm的范围。

3.如权利要求1所述的半导体激光合束装置，其中，所述第一衍射光栅为透射型光栅或反射型光栅。

4.如权利要求1所述的半导体激光合束装置，其中，所述半导体激光合束装置还包括在所述第一衍射光栅与所述第二柱面镜之间的第二衍射光栅。

5.如权利要求4所述的半导体激光合束装置，所述第一衍射光栅为透射型衍射光栅，并且还包括设置在所述第一衍射光栅之后的全反射镜，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅为同一衍射光栅，所述第一柱面镜和所述第二柱面镜为同一柱面镜。

6.如权利要求5所述的半导体激光合束装置，其中，所述全反射镜放置为以1°-5°的偏移角反射来自所述第一衍射光栅的激光束。

7.如权利要求1所述的半导体激光合束装置，其中，所述第一衍射光栅为反射型光栅，所述第一柱面镜与所述第二柱面镜为同一柱面镜，并且所述衍射光栅具有在1°-5°范围可调的角度，以1°-5°的偏移角反射来自所述第一柱面镜的激光束。