[发明专利]一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备

权利要求书

1.一种实现稳定测温的测温装置，包括两根材料不同的热电极，以及所述热电极的结合端，其特征在于：所述热电极外环绕设置一绝缘管，所述绝缘管内设置固定装置，用以将两根热电极与所述绝缘管固定连接。

2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于：所述的固定装置为设置在所述绝缘管内部的多管道部件，所述多管道部件包括至少两个独立管道，所述两根热电极分别位于一个独立管道内。

3.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于：所述两热电极的结合端包括一测量端和一自由端，所述多管道部件长度小于等于所述热电极长度。

4.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于：所述固定装置和所述绝缘管材料相同或不同，为特氟龙、聚醚酮、聚醚酰亚胺中的一种或两种。

5.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于：所述的固定装置包括至少两个与所述绝缘管固定连接的固定环，所述的固定环靠近所述测量端设置，所述两根热电极分别位于一个固定环内。

6.根据权利要求5所述的测温装置，其特征在于：所述的固定环为不连续结构，所述固定环通过抓力固定所述热电极。

7.根据权利要求5所述的测温装置，其特征在于：所述的固定环的内径大于等于所述热电极的外径。

8.一种实现准确测温的半导体设备，其特征在于：所述设备包括至少一个反应腔，所述反应腔内设置一静电吸盘，所述静电吸盘置于一基座上，所述基座和所述静电吸盘内部设置一测温装置，所述测温装置包括两根材料不同的热电极，以及所述热电极的两结合端，一测量端和一自由端，所述热电极外环绕设置一绝缘管，所述绝缘管内设置固定装置，用以将两根热电极与所述绝缘管固定连接。

9.根据权利要求8所述的半导体设备，其特征在于：所述的测量端靠近所述静电吸盘表面。

10.根据权利要求8所述的半导体设备，其特征在于：所述绝缘管下方设置一弹簧，所述弹簧通过一固定塞和所述基座固定。