[发明专利]基于有机p-n结的红外探测器件及其制作方法与使用该器件的红外图像探测器

权利要求书

1.一种基于有机p-n结的红外探测器件，其特征在于，包括：相对平行设置的有源玻璃基板（42）与封装玻璃基板（44）、设于所述有源玻璃基板（42）与封装玻璃基板（44）之间的数个有机p-n结（43）、及设于所述有源玻璃基板（42）与封装玻璃基板（44）的四周边缘区域的封装材料（48），所述数个有机p-n结（43）在所述有源玻璃基板(42)上呈矩阵式分布。

2.如权利要求1所述的基于有机p-n结的红外探测器件，其特征在于，每一所述有机p-n结（43）包括：设于有源玻璃基板（42）上的阳极（45）、设于所述阳极（45）上的有机材料层（46）、及设于有机材料层（46）上的阴极（47），所述阴极（47）与所述封装玻璃基板（44）相抵靠。

3.如权利要求2所述的基于有机p-n结的红外探测器件，其特征在于，所述有机材料层（46）包括有机p型材料和有机n型材料，所述有机p型材料为红外吸光材料，所述红外吸光材料为十六氟铜酞菁或DCDSTCY；所述有机n型材料为富勒烯衍生物。

4.一种基于有机p-n结的红外探测器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、提供一玻璃基板，在所述玻璃基板上沉积形成一氧化铟锡层；

步骤2、采用光刻技术图像化所述氧化铟锡层，形成数个呈矩阵式分布的阳极（45）；

步骤3、在每一阳极（45）上分别形成有机材料层（46）；

步骤4、在每一有机材料层（46）上分别形成阴极（47）；

步骤5、提供封装玻璃基板（44），并利用封装材料（48）将所述封装玻璃基板（44）与上述形成有氧化铟锡层的玻璃基板贴合在一起，形成基于有机p-n结的红外探测器件（40）。

5.如权利要求4所述的基于有机p-n结的红外探测器件的制作方法，其特征在于，所述步骤3中通过真空蒸镀技术中的共蒸法将有机p型材料与有机n型材料同时蒸镀到每一阳极（45）上来形成有机材料层（46），或者，所述步骤3中通过真空蒸镀技术在每一阳极（45）先蒸镀有机p型材料，再在所述有机p型材料上蒸镀一层有机n型材料来形成有机材料层（46），其中，所述有机p型材料与有机n型材料的比例5-7：3-5，蒸镀后，所述有机p型材料的厚度为30-150纳米，所述有机n型材料的厚度为20-50纳米。

6.如权利要求4所述的基于有机p-n结的红外探测器件的制作方法，其特征在于，所述步骤3中将有机p型材料与有机n型材料同时溶解于有机溶剂中，然后将掩膜版与氧化铟锡层贴在一起，将溶解有有机p型材料与有机n型材料的有机溶剂涂覆于掩膜版上，待该有机溶剂干燥后，移除掩膜版，形成有机材料层（46），其中，有机p型材料与有机n型材料的比例为5-7：3-5。

7.如权利要求4所述的基于有机p-n结的红外探测器件的制作方法，其特征在于，所述步骤5中采用在封装玻璃基板（44）的四周边缘涂上框胶，并将涂有框胶的封装玻璃基板（44）与形成有氧化铟锡层的玻璃基板压合在一起，并采用紫外线照射，固化框胶，将封装玻璃基板（44）与形成有氧化铟锡层的玻璃基板密封封装在一起，或，在封装玻璃基板（44）四周边缘涂上熔块胶或金属胶，并将胶烤干，将形成有氧化铟锡层的玻璃基板与封装玻璃基板（44）对组贴合，用激光波长为800-1200纳米的二氧化碳激光器或红外激光器将上述烤干的胶溶解，进而将形成有氧化铟锡层的玻璃基板与封装玻璃基板（44）密封焊接在一起。

8.如权利要求4所述的基于有机p-n结的红外探测器件的制作方法，其特征在于，所述有机材料层（46）包括有机p型材料和有机n型材料，所述有机p型材料为红外吸光材料，所述红外吸光材料为十六氟铜酞菁或DCDSTCY；所述有机n型材料为富勒烯衍生物。