[发明专利]一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器

权利要求书

1.一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：两根光纤端面镀反射膜后对准，构成光纤法珀腔，在法珀腔内有一段或两段波导，中间留有空气间隙。

2.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：法珀腔内的波导为光纤波导，或者空心波导，或凸面聚焦透镜波导。

3.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：包括两个相同的导引光纤，导引光纤端面镀反射膜、反射膜上连接波导，两个波导端面对准，波导端面之间留有空气间隙。

4.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：包括一个端面镀反射膜、反射膜上连接波导的导引光纤和一个端面镀反射膜的光纤，波导端面与不带波导的光纤反射膜面对准，中间留有空气间隙。

5.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：包括一个端面镀反射膜、反射膜上连接波导的导引光纤和一个镀反射膜的反射面，波导端面与反射膜面对准，中间留有空气间隙。

6.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：为反射型或者透射型。

7.根据权利要求1所述的一种高精细度光纤外腔式法珀干涉型传感器，其特征在于：传感器的光谱在后向反射端有一个尖锐的谷，或者在前向透射端有一个尖锐的峰，外部被测物理量通过改变法珀腔内的空气间隙的光学长度，来改变传感器的反射光谱的谷的波长，或透射光谱的峰的波长。通过检测反射光谱谷的波长，或者透射光谱峰的波长，实现对被测量的监测。