[发明专利]一种制备铜铝硫薄膜的方法无效

专利信息
申请号: 201310301210.X 申请日: 2013-07-09
公开(公告)号: CN103449733A 公开(公告)日: 2013-12-18
发明(设计)人: 李静;高稳成;刘科高;石磊;许斌 申请(专利权)人: 山东建筑大学
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22;H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250101 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 铜铝硫 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种制备铜铝硫薄膜的方法,包括如下步骤: 

a.玻璃基片的清洗; 

b.将0.8~1.5份CuCl2·2H2O、1.7~3.3份Al(NO3)3·9H2O、及1.0~2.5份CH4N2S放入30~150份溶剂中均匀混合; 

c.在匀胶机上吸附基片并在表面均匀涂抹步骤b所述溶液,后烘干,得到前驱体薄膜样品; 

d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有1.791份水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触;将装有前驱薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~20小时,然后冷却到室温取出; 

e.将步骤d所得产物,进行干燥,得到铜铝硫薄膜。

2.如权利要求1所述的一种制备铜铝硫薄膜的方法,其特征在于,步骤a所述清洗,是将玻璃基片大小为2mm×2mm,按体积比放入三氯甲烷:乙醇=5∶1的溶液中,超声波清洗;再将玻璃片放入丙酮:蒸馏水=5∶1的溶液中,超声波清洗;再在蒸馏水中将玻璃基片用超声振荡;将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用。

3.如权利要求1所述的一种制备铜铝硫薄膜的方法,其特征在于,步骤c所述均匀涂抹的基片,是在匀胶机上涂抹,匀胶机以200~3500转/分旋转,然后对基片进行烘干后,再次如此重复5~15次,得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。 

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