[发明专利]一种制备铜铝硫薄膜的方法无效
申请号: | 201310301210.X | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103449733A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 李静;高稳成;刘科高;石磊;许斌 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | C03C17/22 | 分类号: | C03C17/22;H01L31/18;H01L31/032 |
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地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 铜铝硫 薄膜 方法 | ||
1.一种制备铜铝硫薄膜的方法,包括如下步骤:
a.玻璃基片的清洗;
b.将0.8~1.5份CuCl2·2H2O、1.7~3.3份Al(NO3)3·9H2O、及1.0~2.5份CH4N2S放入30~150份溶剂中均匀混合;
c.在匀胶机上吸附基片并在表面均匀涂抹步骤b所述溶液,后烘干,得到前驱体薄膜样品;
d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有1.791份水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触;将装有前驱薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~20小时,然后冷却到室温取出;
e.将步骤d所得产物,进行干燥,得到铜铝硫薄膜。
2.如权利要求1所述的一种制备铜铝硫薄膜的方法,其特征在于,步骤a所述清洗,是将玻璃基片大小为2mm×2mm,按体积比放入三氯甲烷:乙醇=5∶1的溶液中,超声波清洗;再将玻璃片放入丙酮:蒸馏水=5∶1的溶液中,超声波清洗;再在蒸馏水中将玻璃基片用超声振荡;将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用。
3.如权利要求1所述的一种制备铜铝硫薄膜的方法,其特征在于,步骤c所述均匀涂抹的基片,是在匀胶机上涂抹,匀胶机以200~3500转/分旋转,然后对基片进行烘干后,再次如此重复5~15次,得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。
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