[发明专利]由高压冷冻材料制作电子显微镜样品有效
申请号: | 201310301331.4 | 申请日: | 2013-07-12 |
公开(公告)号: | CN103543045B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | R·J·P·G·沙姆佩斯;M·F·哈勒斯;D·A·M·德温特;C·T·W·M·施内登伯格 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 赵苏林,杨思捷 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高压 冷冻 材料 制作 电子显微镜 样品 | ||
1.由带有高压冷冻样品材料的毛细管制作样品的方法,该方法包括:
●提供具有玻璃化的样品材料的高压毛细管的步骤(102),该样品材料处于低于玻璃化转变温度Tg的温度T1,和
●切割该毛细管的步骤(104),
其特征在于
●将该毛细管升温到介于温度T1和温度Tg之间的温度T2的步骤(106),
●将该毛细管冷却到低于温度T2的温度T3的后续步骤(108),其结果是材料从该毛细管中挤出,和
●在低于温度Tg的温度下从挤出的样品材料释放样品的步骤(112)。
2.权利要求2的方法,其中将所述毛细管冷却到低于温度T2的温度T3的后续步骤(108)包括将所述毛细管浸入温度低于温度T2的液体中,特别是浸入液体乙烷,液体丙烷或液氮中。
3.前述权利要求中任一项的方法,其中所述毛细管是金属毛细管。
4.权利要求3的方法,其中所述金属包含铜和/或铁和/或铝。
5.前述权利要求中任一项的方法,其中温度T2和T3之间的差值大于20K,优选大于50K。
6.前述权利要求中任一项的方法,其中所述释放样品的步骤包括用聚焦离子束切割。
7.前述权利要求中任一项的方法,其中所释放的样品是薄片。
8.权利要求7的方法,其中该方法进一步包括在电子显微镜中观测的步骤。
9.前述权利要求中任一项的方法,其中将所述毛细管升温到介于温度T1和温度Tg之间的温度T2的步骤(106)和将所述毛细管冷却到低于温度T2的温度T3的后续步骤(108),其结果是材料从所述毛细管中挤出,之后接着是将所述毛细管升温到介于温度T1和温度Tg之间的温度T2的进一步的步骤和将所述毛细管冷却到低于温度T2的温度T3的进一步的后续步骤(108),其结果是更多材料从所述毛细管中挤出。
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