[发明专利]测量反应腔室内薄膜温度的方法有效
| 申请号： | 201310302419.8 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN103411684A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张朝前;马砚忠;李有森;陈志浩;李天笑 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/52 | 分类号： | G01J5/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 反应 室内 薄膜 温度 方法 | ||
1.一种测量反应腔室内薄膜温度的方法，其特征在于，所述方法包括：
获取薄膜的探测区域内的采样点集合对波长为λ的光的反射率采样数据R以及所述采样点集合的热辐射值采样数据E，其中所述采样点集合包括至少两个采样点；所述反射率采样数据R为R（i）（i为正整数）组成的集合、所述热辐射值采样数据E为E（i）组成的集合，其中R（i）为第i个采样点对所述光的反射率、E（i）为所述第i个采样点的热辐射值，R（i）和E（i）构成第i个采样数据组；
依据至少两个所述采样数据组的值计算获得第一修正因子α和第二修正因子γ，其中，0<α≤1,0≤γ≤1；
根据所述第一修正因子α和第二修正因子γ的值以及至少两个所述采样数据组的值获取所述薄膜的探测区域对所述波长为λ的光的黑体辐射值Lb；
根据所述黑体辐射值Lb以及所述波长λ的值查表获得所述探测区域的温度值T。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述依据至少两个所述采样数据组的值计算获得第一修正因子α和第二修正因子γ，包括以下步骤：
根据至少两个所述采样数据组的值计算获得第一修正因子α和第二修正因子γ的比值γ/α；
根据所述比值γ/α和至少两个所述采样数据组的值以及辐射方程E=[α(1-R)+γ]×Lb(λ,T)计算所述第一修正因子α和第二修正因子γ。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据至少两个所述采样数据组的值计算获得第一修正因子α和第二修正因子γ的比值γ/α，具体为：
根据至少两个所述采样数据组的值和辐射方程计算所述Lb的方差；
计算比值γ/α的值使所述Lb的方差达到最小值。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，获取所述反射率采样数据R时，采样相邻两个所述采样点之间的时间间隔小于2微秒；获取所述热辐射值采样数据E时，采样相邻两个所述采样点之间的时间间隔小于2微秒。
5.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述薄膜的温度小于600℃。
6.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述反应腔室为MOCVD反应腔室。
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