[发明专利]一种气相沉积方法在审
| 申请号： | 201310302856.X | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103343334A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 戴煜;胡祥龙 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/26;C23C16/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 410118 湖南省长沙市长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 方法 | ||
1.一种气相沉积方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤A：对参与沉积反应的原料进行加热，直至成为气相化学物质；
步骤B：将所述气相化学物质引进放置好待加工产品的沉积室内进行沉积反应；
步骤C：旋转所述沉积室内的所述待加工产品。
2.根据权利要求1所述的气相沉积方法，其特征在于，步骤B中通过真空泵产生的牵引力将所述气相化学物质引进所述沉积室内。
3.根据权利要求1所述的气相沉积方法，其特征在于，步骤B中的沉积过程经历时间为20天。
4.根据权利要求1所述的气相沉积方法，其特征在于，步骤C中通过旋转所述沉积室内用于盛放所述待加工产品的料盘带动所述待加工产品旋转。
5.根据权利要求4所述的气相沉积方法，其特征在于，所述料盘设置于气相沉积炉的所述沉积室内，并通过连接轴与所述沉积室外的旋转电机连接，所述连接轴与所述气相沉积炉之间为动密封。
6.根据权利要求5所述的气相沉积方法，其特征在于，所述连接轴位于所述沉积室外的一端通过减速机与所述旋转电机连接。
7.根据权利要求4所述的气相沉积方法，其特征在于，所述料盘沿垂直于所述料盘所在平面的旋转轴线旋转。
8.根据权利要求7所述的气相沉积方法，其特征在于，所述旋转轴线位于所述料盘的中心。
9.根据权利要求1所述的气相沉积方法，其特征在于，在步骤C之后还包括步骤D：对完成沉积过程的产品进行石墨化处理。
10.根据权利要求1-9任一项所述的气相沉积方法，其特征在于，所述气相化学物质为碳氢气体。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
