[发明专利]一种大口径非球面主镜检测装置与方法

说明书

技术领域

本发明属于先进光学制造与检测领域，涉及一种光学检测装置，特别涉及一种大口径非球面主镜检测系统。

背景技术

非球面应用主要的困难在于非球面的加工和检测，特别是检测环节，由于球面有共同的曲率中心，而非球面没有，这就给非球面的加工带来了困难。尽管目前发展出多种非球面的检测技术，但对于某些形式的非球面仍然不能有一个行之有效的测量方法。顶点曲率半径和二次常数是非球面的两个重要的特征参数，它的准确测量和控制对确保大口径非球面主镜零检验的可靠性非常重要。非球面的面形表达式主要由双曲线、抛物线和椭圆的部分绕其中心轴旋转而成的，表达式如下：

z(r)=r2R+R2-(k+1)r2]]>

从上式可以看出非球面的面形表达式由R和k决定，R的测量误差影响主镜焦点的位置，k的误差影响主镜成像时的球差。由此可以看出R和k的准确测量对镜面的成像质量有着重大的意义。下表是由于一些天文望远镜k测量不准确引起的球差数据。

天文望远镜球差P-V值(λ＝633nm)二次常数K的误差哈勃天文望远镜-1.4λ1.2％新技术望远镜-1.2λ0.5％红外望远镜+3.5λ4.9％

加法夏望远镜-1.0λ3.7％夏威夷大学88英寸望远镜-0.3λ0.8％

二次常数测量不准确引入球差的天文望远镜