[发明专利]双源ECR等离子体源装置

权利要求书

1.双源ECR等离子体源装置，其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。

2.根据权利要求1所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述微波ECR等离子体源安装在所述真空容器的轴线的封头上，所述微波ECR等离子体源与所述真空容器之间设置有插板阀。

3.根据权利要求1所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述两个微波放电等离子体源分别连接微波控制柜。

4.根据权利要求1所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述微波ECR等离子体源包括依次连接的激励腔、过渡波导装置、短负载或取样负载装置、三销钉调节器、短路活塞以及磁场装置，所述激励腔连接微波控制柜，所述磁场装置连接所述真空容器。

5.根据权利要求4所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述真空容器通过进气口连接进气源装置，所述进气源装置具有多路气体控制系统。

6.根据权利要求4所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述磁场装置采用电磁线圈系统。

7.根据权利要求3所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述微波控制柜具有操作和显示面板。

8.根据权利要求4所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，所述激励腔为3kW激励腔。

9.根据权利要求4所述的双源ECR等离子体源装置，其特征在于，包括水冷系统，所述水冷系统分布在发热部件周围。