[发明专利]一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法

权利要求书

1.一种SiC微粉合成炉，包括通过钢壳（1）包裹、内部设置合成腔体的主炉体，主炉体连接自动控制与检测系统，主炉体外壳上布置有上法兰盖（2）和下法兰盖（3），其特征在于：主炉体由外向内依次设置有钢壳（1）、保温层（4）和耐火层（5），主炉体内设置有对应布置的石墨电极（6）和安装在底部的热电偶（7），主炉体的下法兰盖（3）上布置有两个电极孔，两个电极孔上安装有与石墨电极（6）连接的水冷电极（8），上法兰盖（2）上部设置有连接真空系统（9）的真空管道（10）。

2.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉，其特征在于：所述水冷电极（8）与供电母排（11）相连接，供电母排（11）与直流供电系统连接。

3.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉，其特征在于：所述上法兰盖（2）呈椭球形，真空管道（10）上布置有连通主炉体内部的观察窗（12），真空管道（10）上设置有用于人工读取炉内真空的麦氏真空计、与监控系统连接的控制柜、过滤器和真空阀门。

4.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉，其特征在于：所述真空系统（9）由一级滑阀泵和与之匹配的二级罗茨泵构成，滑阀泵的出口上连接有气体过滤器，气体过滤器的出口连接气体收集腔。

5.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉，其特征在于：所述主炉体内底部铺设有绝缘垫板（13），上部设置有多孔压板（14）。

6.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉，其特征在于：所述主炉体炉身、上法兰盖（2）和下法兰盖（3）内均设置有冷却系统。

7.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉的炉气收集方法，其特征为，包括如下步骤：（1）将合成原料混合装入主炉体的合成腔体内，主炉体密封，依次打开滑阀泵和罗茨泵，待真空度达到100Pa以下时开始对主炉体内供电，同时开冷却水系统；（2）主炉体内产生的炉气被抽到滑阀泵内，再通过气体过滤器过滤，最后被收集到气体收集腔中。

8.根据权利要求1所述的SiC微粉合成炉的炉气收集方法，其特征在于：所述主炉体供电结束后，关闭电源，滑阀泵和罗茨泵在供电结束10分钟后关闭，主炉体自然冷却12小时后，关闭冷却水系统，打开炉盖，将合成的产品出炉。