[发明专利]建立统计过程控制系统数据采集规则的方法及模块

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种集成电路工厂制造执行管理系统（manufacturing execution system，简称MES）和统计过程控制(Shop Floor Control System,简称SFC)组合系统。

背景技术

制造执行管理系统MES是企业计算机/现代集成制造系统(CIMS是英文Computer Integrated Manufacturing Systems,简称CIMS)信息集成的纽带，是实施企业敏捷制造战略和实现车间生产敏捷化的基本技术手段。纵观我国制造业信息化系统的应用现状，建设的重点普遍放在企业资源规划(Enterprise Resource Planning,简称ERP)管理系统和现场自动化系统(Shop Floor Control System,简称SFC)两个方面。

而面向车间层的生产管理技术与实时信息系统MES可以为用户提供一个快速反应、有弹性、精细化的制造业环境，帮助企业减低成本、按期交货、提高产品的质量和提高服务质量,特别适用于半导体制造行业，其能够对单一的大批量生产提供良好的企业信息管理,从而解决了企业资源规划ERP和统计过程控制系统SFC无法单独应付的局面。

半导体制造行业采用的系统架构是ERP/MES/SFC的组合，系统通过强调制造过程的整体优化来帮助企业实施完整的闭环生产，协助企业建立一体化和实时化的ERP/MES/SFC信息体系。在一些情况下，SPC具体体现在统计过程控制。

通常情况下,MES与SPC实现由不同的专业公司完成，例如，MES采用AIM公司的成品，SPC采用PDF公司产品，系统中MES、ERP与SPC间没有提供自动建立的接口，不能数据共享,即在有新产品时，SPC系统无法整合其他系统的数据进行自动建立数据采集规则，设置数据采集规则是需要人工进行维护及设计。请参阅图1，图1所示为图1为现有技术中用人工建立策略配置文件的流程示意图。从图1中我们可以看出,SPC系统如果想采用MES系统采集的数据，需人工查询MES采集的数据（DC SPEC信息），然后人工输入DC SPEC信息，人工设置量测地址端口(SITE COUNT)，人工设置与SITE COUNT相对应的上下限(limit),包括：系统设定的数据上限（SPCUSL）和系统设定的数据下限（SPCLSL），以及报警编号(Alarm),最后生成采集数据规则。

因此，要完成上述工作，工程师需要建立大量的规则，并且由于人工建立，还会导致出现一定的误差率。即如果按照人工建立，大约需要每5分钟建立一个策略（Strategy）的配置文件，而一个产品一般需要建立200个Strategy的配置文件，这样大约需要1000分钟，也就是需要17小时，并且存在大约1%的误差。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的缺陷，实现SPC系统数据采集规则的自动化。

为达成上述目的，本发明提供一种统计过程控制系统数据采集规则的建立方法，用于MES/SFC组合系统架构中，其包括：

步骤S1：将MES系统采集的数据批量同步进入SPC系统的数据库，并将同步数据进行格式转换处理，以满足SPC系统数据库的数据采集格式要求；

步骤S2：从满足SPC系统的数据采集格式要求的数据中批量选取需要建立相应设定规则的评估检测数据集合；

步骤S3：根据预先选定的每一个设定规则，创建采集数据规则，生成与每一个采集数据规则对应的配置文件；其中，所述的配置文件包括数据采集相关数据的设定文件、数据分析及规则相关设定文件、上下限和报警设置相关设定文件、模组信息文件、数据采集规则基本信息；

优选地，在步骤S2中还包括：将满足SPC系统数据库的数据采集格式要求的数据存入SPC系统数据库中。

优选地，所述方法还包括步骤S4：激活并启用采集数据规则。

优选地，所述方法还包括步骤S5：预设制程控制所述MES系统触发SPC系统的工作状态。。

优选地，所述SPC系统的工作状态包括所述SPC系统的启闭。