[发明专利]多晶硅定向凝固装置

权利要求书

1.一种多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于保温套筒的高度为石英坩埚高度的1.5～2倍，拉锭机构的上部为石墨螺旋板，石墨螺旋板内置的螺旋通道与拉锭机构的进气口相连通，石墨螺旋板的两侧边缘处开有的出气口。

2.根据权利要求1所述的多晶硅定向凝固装置，其特征在于石英坩埚和拉锭机构之间设置有石墨托板，且石墨托板与保温套筒内壁贴合。

3.根据权利要求1所述的多晶硅定向凝固装置，其特征在于保温套筒的高度为石英坩埚高度的2倍。

4.根据权利要求1所述的多晶硅定向凝固装置，其特征在于螺旋通道内所通气体为氩气。

5.根据权利要求4所述的多晶硅定向凝固装置，其特征在于螺旋通道内的氩气的进气温度为5～30℃。

6.根据权利要求1所述的多晶硅定向凝固装置，其特征在于螺旋通道为双螺旋结构。