[发明专利]金属蚀刻剂及其制备方法有效
申请号: | 201310310025.7 | 申请日: | 2013-07-23 |
公开(公告)号: | CN103409753A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 徐志坚 | 申请(专利权)人: | 吴江龙硕金属制品有限公司 |
主分类号: | C23F1/16 | 分类号: | C23F1/16 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 李纪昌 |
地址: | 215212 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种蚀刻剂,尤其涉及一种金属蚀刻剂及其制备方法。
背景技术
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。例如,用氢氟酸对玻璃制品的局部表面进行腐蚀,在其表面刻画出各种花纹、图案、刻度、格子等。化学蚀刻过程是现在需蚀刻的玻璃表面涂上保护漆或石蜡。然后放入氢氟酸和少量NH4F组成的蚀刻液,玻璃表面层与氢氟酸作用,生成的氟化物溶解在蚀刻液中或沉积在玻璃表面。化学蚀刻就是将需要蚀刻的金属制件浸泡在由各种化学成分组成的蚀刻溶液中,在室温或加热的情况下,经过一定时间的反应后,需要蚀刻部分的金属慢慢溶解,最终达到所需要的蚀刻深度,使金属制件表面显露出具有凹凸立体感的装饰文字或图纹。化学蚀刻的过程实际上是金属在化学溶液中的自溶解,也就是腐蚀过程。这种溶解的过程可按化学机理也可以按电化学机理进行,但由于金属蚀刻的溶液都是一般的酸、碱、电解质溶液。因此,金属的化学蚀刻应该按电化学溶解机理进行。但是一般的刻蚀剂的刻蚀速率不高,速度较慢。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种刻蚀速率高的金属蚀刻剂及其制备方法。
本发明采用以下技术方案解决技术问题:
一种金属蚀刻剂,包括以下重量份计的原料:羧甲基纤维素钠10-20份、硼酸30-40份、富马酸钠20-30份、甲基丁酸酯10-20份、氰化钠10-20份、氯化苯甲酰4-10份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠10-15份、联苯胺黄2-10份、硬脂酸钡10-20份、偶氮二异丁腈20-25份。
金属蚀刻剂的制备方法,包括以下步骤:将羧甲基纤维素钠、硼酸、富马酸钠、甲基丁酸酯、氰化钠、氯化苯甲酰、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠、联苯胺黄混合均匀,然后依次加入硬脂酸钡和偶氮二异丁腈、搅拌均匀即可。
本发明的有益效果是,本发明的刻蚀速率高达70nm/min以上,而一般的碱性氯化铜蚀刻液的刻蚀速率仅为2nm/min,因此,本发明的金属蚀刻剂的刻蚀速率远远高于一般的刻蚀液,提高了工作效率。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明作进一步详细介绍。
实施例1
一种金属蚀刻剂,包括以下重量份计的原料:羧甲基纤维素钠10份、硼酸30份、富马酸钠20份、甲基丁酸酯10份、氰化钠10份、氯化苯甲酰4份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠10份、联苯胺黄2份、硬脂酸钡10份、偶氮二异丁腈20份。
上述的金属蚀刻剂的制备方法包括以下步骤:将羧甲基纤维素钠、硼酸、富马酸钠、甲基丁酸酯、氰化钠、氯化苯甲酰、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠、联苯胺黄混合均匀,然后依次加入硬脂酸钡和偶氮二异丁腈、搅拌均匀即可。
实施例2
一种金属蚀刻剂,包括以下重量份计的原料:羧甲基纤维素钠20份、硼酸40份、富马酸钠30份、甲基丁酸酯20份、氰化钠20份、氯化苯甲酰10份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠15份、联苯胺黄10份、硬脂酸钡20份、偶氮二异丁腈25份。
上述的金属蚀刻剂的制备方法包括以下步骤:将羧甲基纤维素钠、硼酸、富马酸钠、甲基丁酸酯、氰化钠、氯化苯甲酰、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠、联苯胺黄混合均匀,然后依次加入硬脂酸钡和偶氮二异丁腈、搅拌均匀即可。
实施例3
一种金属蚀刻剂,包括以下重量份计的原料:羧甲基纤维素钠15份、硼酸35份、富马酸钠25份、甲基丁酸酯15份、氰化钠15份、氯化苯甲酰6份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠13份、联苯胺黄8份、硬脂酸钡15份、偶氮二异丁腈23份。
上述的金属蚀刻剂的制备方法包括以下步骤:将羧甲基纤维素钠、硼酸、富马酸钠、甲基丁酸酯、氰化钠、氯化苯甲酰、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠、联苯胺黄混合均匀,然后依次加入硬脂酸钡和偶氮二异丁腈、搅拌均匀即可。
下面通过试验测试本发明的性能:
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