[发明专利]使用合并光谱数据的光谱技术

权利要求书

1.一种使用光谱装置检查样品的方法，包括以下步骤：

- 将所述样品安装在样品架上；

- 将辐射的聚焦输入射束引导到所述样品上的位置上，从而产生使受激光子辐射的通量从所述位置放射的相互作用；

- 使用多通道光子计数检测器检查所述通量，从而针对所述位置积累测量光谱；

- 针对所述样品上的一系列连续位置，自动重复所述引导和检查步骤，

其特征在于下列步骤：

- 选择将影响所述受激光子辐射通量的大小的输入射束的射束参数；

- 针对所述样品上第一组位置内的每个位置，使用所述射束参数的第一值来积累光谱；

- 针对所述样品上第二组位置内的每个位置，使用与所述第一值不同的所述射束参数的第二值来积累光谱。

2.如权利要求1中所要求保护的方法，包括以下步骤：

- 选择所述射束参数的所述第一值；

- 在第一测量运行中，在针对所述第一组位置中的每个位置获取光谱的同时，维持所述射束参数的所述第一值；

- 选择所述射束参数的所述第二值；

- 在第二测量运行中，在针对所述第二组位置中的每个位置获取光谱的同时，维持所述射束参数的所述第二值。

3.如权利要求2中所要求保护的方法，包括以下步骤：

- 在所述第一测量运行期间，如果所述检测器遇到被低于给定接受值的时间间隔所分离的两个连续光子，则生成事件信号；

- 如果在给定位置L_f处，所生成的事件信号的数量超过特定的阈值，则生成标志信号，并将位置L_f存储在存储器中；

- 响应于标志信号的生成，选择所述射束参数的所述第二值，以便降低所述受激光子辐射通量的大小；

- 选择所述第二组位置以至少包括位置L_f的子集。

4.如权利要求3中所要求保护的方法，其中：

- 如果在位置L_e处生成事件信号，则将与该事件信号相关联的检测器数据存储在缓冲器中；

- 来自该缓冲器的数据被包括在针对位置L_e所积累的光谱中，但被标记为与事件信号相关联。

5.如权利要求1-4中的任一项中所要求保护的方法，其中

- 所述输入射束包括从包括电子、X射线、伽马射线、质子、正电子或离子的组中所选择的辐射；

- 所述受激光子辐射的通量包括X射线；

- 所述射束参数是从包括电流和强度的组中选择的。

6.如权利要求5中所要求保护的方法，其中

- 所述输入射束包括电子；

- 将所述受激光子辐射的通量使用能量色散X射线光谱术进行检查。

7.一种被构建和布置成执行如权利要求1-6中的任一项中所要求保护的方法的带电粒子显微镜。