[发明专利]一种扩散炉的炉门密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种扩散炉的炉门密封装置。

背景技术

目前，现有的扩散炉的密封性比较差，在需要通入有毒害的气体时，很难达到漏率要求。基于对MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）的石墨盘进行清理，大多设备都是价格高，不经济，清洗效果不佳，清理成本高。

发明内容

本发明的目的是提供一种扩散炉的炉门密封装置，适用于对半导体晶片进行扩散，氧化，退火，合金及烧结等工艺的扩散炉。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。

优选地，所述的第二水套与第一水套连接一侧内圈的端部具有向外侧倾斜的锥面，所述的第一密封圈设置在所述的第二水套倾斜的锥面与所述的第一水套之间。

优选地，所述的炉门上设置有炉门冷却水管，所述的炉门冷却水管具有炉门冷却水入口、炉门冷却水出口。

优选地，所述的第一水套上设置有第一水套冷却水管，所述的第一水套冷却水管具有第一水套冷却水入口、第一水套冷却水出口。

优选地，所述的第二水套上设置有第二水套冷却水管，所述的第二水套冷却水管具有第二水套冷却水入口、第二水套冷却水出口。

优选地，所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口，所述的气体出口连接有石英气管，所述的石英气管能够伸入至所述的管件的尾端。

优选地，所述的第一密封圈、第三密封圈为O型密封圈；所述的第二密封圈为四氟密封圈。

优选地，所述的炉门为不锈钢炉门；所述的第一水套、第二水套均为不锈钢水套。

优选地，所述的管件为石英管。

优选地，所述的第一水套、第二水套之间通过法兰相连接。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明通过在炉门与管件之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门与管件之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，使得扩散炉漏率能达到1X10-7Pa·m3/s，大大提高了密封性的同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。

附图说明

附图1为本发明的拆分示意图；

附图2为本发明的剖视示意图；

附图3为附图2中A部放大图。

其中：1、炉门；10、炉门冷却水管；100、炉门冷却水入口；101、炉门冷却水出口；2、管件；3、第一水套；30、第一水套冷却水管；300、第一水套冷却水入口；301、第一水套冷却水出口；4、第二水套；40、第二水套冷却水管；400、第二水套冷却水入口；401、第二水套冷却水出口；410、气体入口；411、气体出口；412、石英气管；42、锥面；50、第一密封圈；51、第二密封圈；52、第三密封圈；6、加热段。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

如图1所示的一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门1、管件2、第一水套3、第二水套4以及密封件。以下对各个部件做详细介绍：

炉门1采用不锈钢炉门，在炉门1上设置有炉门冷却水管10，炉门冷却水管10具有炉门冷却水入口100、炉门冷却水出口101。管件2为石英管。

第一水套3采用不锈钢水套，第一水套3上设置有第一水套冷却水管30，第一水套冷却水管30具有第一水套冷却水入口300、第一水套冷却水出口301。