[发明专利]一种半导体测量设备在审
| 申请号： | 201310312631.2 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104344849A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 郭一鸣;郭亚娟;周万泉 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测量 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体测量设备，其特征在于，所述半导体测量设备包括：
用于检测现场参数的至少一个传感器；
微控制器，其与所述至少一个传感器通信地连接，
其中，所述微控制器支持无线通信协议并且所述传感器与所述微控制器通过无线通信协议通信，以便采集所述半导体测量设备各处的传感器数据。
2.根据权利要求1所述的半导体测量设备，其特征在于，所述无线通信协议为Zigbee无线通信协议。
3.根据权利要求1所述的半导体测量设备，其特征在于，所述现场参数包括以下各项中的至少一项或多项：
-温度；
-湿度；
-压差；
-真空压力；
-压缩空气压力；
-气体流量；和/或
-液体流量。
4.根据权利要求1所述的半导体测量设备，其特征在于，所述至少一个传感器利用无线通信协议组网，以形成不需要电缆的无线测量局域网。
5.根据权利要求1所述的半导体测量设备，其特征在于，所述至少一个传感器采用超低功耗信号采集及转化电路。
6.根据权利要求1所述的半导体测量设备，其特征在于，所述微控制器采用超低功耗的支持无线通信协议的电路。
7.根据权利要求6所述的半导体测量设备，其特征在于，所述微控制器采用电池供电。
8.根据前述权利要求中任一项所述的半导体测量设备，其特征在于，所述至少一个传感器采用电池供电。
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