[发明专利]硅片切割的水清洗系统无效
| 申请号： | 201310312931.0 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103418565A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王谊 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 清洗 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片切割的水清洗系统，其特征在于：包括预清洗机（1）、蓄水池（2）、水泵（3）、储水桶（4），所述预清洗机（1）的排水口、所述蓄水池（2）、所述水泵（3）、所述储水桶（4）依次通过管道连接，且所述储水桶（4）通过管道连入所述预清洗机（1）的进水口。
2.根据权利要求1所述的硅片切割的水清洗系统，其特征在于：所述预清洗机（1）的进水口通过管道连入水源（5）。
3.根据权利要求1所述的硅片切割的水清洗系统，其特征在于：所述蓄水池（2）底部设置排污阀（6）。
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