[发明专利]磨粒的制造方法、悬浮液的制造方法以及研磨液的制造方法有效
申请号: | 201310317864.1 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103374330A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 岩野友洋;南久贵;秋元启孝 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 杜娟 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 方法 悬浮液 以及 研磨 | ||
1.一种磨粒的制造方法,其中,
将第1液体与第2液体在下述式(1)所示的参数Z在5.00以上的条件下混合,得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒,
所述第1液体为所述4价金属元素的盐的水溶液,
所述第2液体为碱液;
Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000 …(1)
式(1)中,ΔpH表示反应体系中每分钟pH的变化量,
k表示下述式(2)所示的反应温度系数,
N表示下述式(3)所示的循环数,单位:min-1,
M表示下述式(5)所示的置换数,单位:min-1;
k=2[(T-20)/10] …(2)
式(2)中,T表示所述反应体系的温度,单位:℃;
N=(u×S)/Q …(3)
式(3)中,u表示下述式(4)所示的搅拌桨的线速度,单位:m/min,
所述搅拌桨用来搅拌所述第1液体与所述第2液体混合得到的混合液,
S表示所述搅拌桨的面积,单位:m2,
Q表示所述混合液的液量,单位:m3;
u=2π×R×r …(4)
式(4)中,R表示所述搅拌桨的转速,单位:min-1,
r表示搅拌桨的旋转半径,单位:m;
M=v/Q …(5)
式(5)中,v表示所述第1液体与所述第2液体的混合速度,单位:m3/min,
Q表示所述混合液的液量,单位:m3。
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