[发明专利]一种微小距离的测定方法在审
| 申请号： | 201310321007.9 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN103424065A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 吴晓光;汪金龙;贺创业;李广生;吴义恒;胡世鹏;郑云 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微小 距离 测定 方法 | ||
1.一种微小距离的测定方法，包括以下步骤：
（1）将靶膜加载到靶膜支架上，将阻停膜加载到阻停膜支架上，靶膜和阻停膜形成平行板电容器；
（2）测量所述的平行板电容器的电容值；
（3）根据所述的电容值计算靶膜与阻停膜之间的距离，理论计算公式为：
其中，为靶膜与阻停膜之间的距离，为真空介质常数，为介质相对介电常数，为所述平行板电容器的有效面积，所述的电容值。
2.如权利要求1所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，步骤（1）中，将靶膜和阻停膜分别加载到靶膜支架和阻停膜支架前，分别将靶膜和阻停膜展平，并保证两膜平行。
3.如权利要求2所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，采用压膜法将靶膜和阻停膜展平。
4.如权利要求3所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，步骤（2）中，在测量所述的电容值之前，对靶膜和阻停膜进行绝缘处理。
5.如权利要求4所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，步骤（2）中，通过数字电桥测量所述的平行板电容器的电容值。
6.如权利要求5所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，采用TH2817A型精密LCR数字电桥测量所述的电容值。
7.如权利要求6所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，平行板电容器与数字电桥通过雷莫线连接。
8.如权利要求6所述的一种微小距离的测定方法，其特征在于，平行板电容器与数字电桥通过单芯包络线连接。
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