[发明专利]一种液体喷头

权利要求书

1.一种液体喷头，包括：硅基板，在所述硅基板上形成的喷液口、供液通道、第一压力腔室、压电桥式梁和第二压力腔室，所述第一压力腔室与所述喷液口、供液通道相连通，所述压电桥式梁设置在第一压力腔室和第二压力腔室之间；所述压电桥式梁两侧设置有缝隙，所述第二压力腔室通过压电桥式梁的两侧缝隙与第一压力腔室连通，其特征在于：所述缝隙是所述第二压力腔室的唯一对外连通通道。

2.根据权利要求1所述的液体喷头，其特征在于：所述的供液通道与所述第一压力腔室的连通处设置有限流机构。

3.根据权利要求2所述的液体喷头，其特征在于：所述的限流机构为端部呈近三角形的限流部。

4.根据权利要求1所述的液体喷头，其特征在于：所述压电桥式梁有多个。

5.根据权利要求1-4所述的任一液体喷头，其特征在于：所述压电桥式梁包括压电元件和保护层，所述保护层为氮化硅材料制成。

6.根据权利要求5所述的液体喷头，其特征在于：所述保护层为四氮化三硅制成。

7.根据权利要求6所述的液体喷头，其特征在于：还包括储液室，所述第一压力腔室仅通过供液通道与储液室连通。

8.根据权利要求6所述的液体喷头，其特征在于：所述压电元件包括上电极、压电体(PZT)和下电极；所述压电体选自于以下材料制成:由锆钛酸铅铌镁酸铅和钛酸铅的固溶体、锌铌酸铅和钛酸铅的固溶体或BiFeO₃铁酸铋。