[发明专利]用于喷墨打印机中的静电致动器的隔膜

权利要求书

1.一种制造用于打印机的喷射管的致动器的方法，包括：

通过在芯轴上电镀一个或多个材料层而形成隔膜，所述隔膜包括挠曲凹部；

将所述隔膜与所述芯轴分离；以及

将所述隔膜设置成与电极层基本平行，从而在所述隔膜和所述电极层之间形成间隙，其中所述隔膜被构造成当电流施加到所述电极层的至少一部分时相对于所述电极层运动。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括在电镀所述隔膜的一个或多个层中的第一层之前，将第一光致抗蚀剂设置在所述芯轴上，其中电镀所述第一层包括至少在与第一光致抗蚀剂相邻处进行电镀。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

将第二光致抗蚀剂设置在所述第一层、所述第一光致抗蚀剂、或者两者上；

至少与第二光致抗蚀剂相邻地在第一层上电镀所述隔膜的一个或多个层中的第二层，其中，电镀第二层包括将所述第二层与所述第一层形成为基本上均匀的结构；以及

将所述第二光致抗蚀剂与所述第一层和所述第二层分离，以显露所述隔膜中的设置有第二光致抗蚀剂的所述挠曲凹部。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述隔膜被构造成在所述挠曲凹部挠曲，使得与所述挠曲凹部相邻地限定的所述隔膜的全厚度部分相对于所述电极层运动，并且保持与所述电极层大致平行。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括用间隙隔开电介质材料填充所述间隙的至少一部分，其中所述间隙隔开电介质材料与所述隔膜的全厚度部分至少部分地对准。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述芯轴上形成所述隔膜之前，将所述芯轴抛光到小于大约100nm的预定光滑度。

7.一种用于打印机的喷射管的致动器设备，包括：

电极层，所述电极层包括导电迹线和电极，其中所述电极与所述导电迹线电联接；以及

隔膜，所述隔膜与所述电极层由间隙错开，所述隔膜包括：

活塞区段，所述活塞区段设置成基本上与所述电极层平行且与所述电极对准；和

挠曲凹部，所述挠曲凹部至少部分地围绕所述活塞区段，

其中所述隔膜被构造成当电流施加到所述电极时在所述挠曲凹部附近弯曲，使得所述活塞区段相对于所述电极层运动，并且基本上保持与所述电极层平行。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述隔膜包括第一电镀层和第二电镀层，其中所述活塞区段由所述第一电镀层的一部分和所述第二电镀层的至少一部分的组合限定，所述挠曲凹部由所述挠曲凹部的底部上的所述第一电镀层并由所述挠曲凹部的侧部上的所述第二电镀层限定。

9.根据权利要求8所述的设备，其中所述第一电镀层和所述第二电镀层形成基本上均匀的结构。

10.根据权利要求7所述的设备，其中所述隔膜还包括节点区段，所述节点区段的厚度大于所述隔膜的限定所述挠曲凹部处的厚度，所述节点区段与设置在所述隔膜和所述电极层之间的间隙隔开电介质联接，所述节点区段相对于所述电极层大致静止。