[发明专利]一种掺氮石英纤维的制备方法

权利要求书

1.一种掺氮石英纤维的制备方法，其特征在于：它由以下步骤构成：

第一步、在二氧化硅纯度超过99.90%的石英砂中均匀掺入总含量为40～3000ppm的氮化物，氮化物为氮化硅、氮化铝或氮化钛的其中一种；

所述的掺杂的氮化物以固体形态掺入石英砂中，其颗粒直径≤200μm，并将掺入的物质与石英砂混合均匀；

所述的掺杂的氮化物以固液混合形式掺入石英砂中，将其搅拌均匀后再进行焙烧，焙烧温度为400℃～1300℃，保温时间为0.5h～24h；

  第二步、将掺杂均匀或掺杂焙烧后的石英砂投入到连熔炉中，加热至1800～2200℃，开始拉制石英玻璃棒，石英玻璃棒的直径为1.5～3.5mm；

第三步、对拉制的石英玻璃棒进行外观检验，按检验标准去除有气泡、气线和弯曲的石英玻璃棒；

第四步、对检验合格的石英玻璃棒用氢氟酸和盐酸的混合液或其中一种液体浸泡，去除石英玻璃棒表面的杂质；所述的氢氟酸的浓度为5～15%，盐酸的浓度为5～15%，浸泡时间为10～60min，浸泡温度为10～35℃；

第五步、对酸泡后的石英玻璃棒用自来水冲洗1～5 min，再用电阻率为8～18MΩ的去离子水冲洗至PH值为6～7为止；

第六步、将清洗干净后的石英玻璃棒自然晾干或用烘箱烘干，采用烘箱烘干时烘箱内的温度为30～105℃，烘干时间为10～120min；

第七步、将烘干后的石英玻璃棒放入真空脱羟炉进行脱羟，真空脱羟炉的真空度为5Pa～100Pa，将真空脱羟炉的温度升至1000℃～1100℃，保持30～60 min，脱除石英棒内亚稳态的羟基；

第八步、对脱羟后的石英玻璃棒进行检验，去除有弯曲变形的石英玻璃棒；

第九步、对检验合格的石英玻璃棒用氢氟酸和盐酸的混合液或其中一种液体浸泡，去除石英玻璃棒表面的杂质；所述的氢氟酸的浓度为5～15%，盐酸的浓度为5～15%，浸泡时间为10～60min，浸泡温度为10～35℃；

第十步、对酸泡后的石英玻璃棒用自来水冲洗1～5min，再用电阻率为8～18MΩ的去离子水冲洗至PH值为6～7为止；

第十一步、将清洗干净后的石英玻璃棒自然晾干或用烘箱烘干，采用烘箱烘干时烘箱内的温度为30～105℃，烘干时间为10～120min；

第十二步、将晾干或烘干后的石英玻璃棒送入熔融拉丝设备，送棒速度为0.5～1.5mm/s，采用氢氧焰燃烧将石英玻璃棒加热至1750～1900℃，以20～50m/s的拉制速度拉制成石英纤维。