[发明专利]用于在带电粒子束装置内组合自动化和人工辅助作业的定序器

权利要求书

1.一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置，包括：

a.用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；

b.工序调度器，该工序调度器接受来自所述调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序；以及

c.工序定序器，当所述人工操作员就绪输入端在所述第二状态时，对于所述正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器通过全自动化工序进行定序直到所述人工操作员就绪输入端被置于所述第一状态下，此时，所述定序器开始对所述人工辅助工序进行定序。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述装置为缺陷分析器。

3.如权利要求1所述的装置，其中，所述装置为临界尺寸度量TEM或STEM。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述装置为从晶片提取薄片并制备薄片用于成像的TEM制备装置。

5.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，一个人工辅助工序为确定工序端点。

6.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，一个全自动化工序是进行自动打薄。

7.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述装置包括微处理器并且还包括通信性地连接到所述微处理器上并且具有程序的微处理器可读非瞬态存储器，当在所述微处理器上执行时，该程序执行所述调度器。

8.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述装置包括微处理器并且还包括通信性地连接到所述微处理器上并且具有程序的微处理器可读非瞬态存储器，当在所述微处理器上执行时，该程序执行所述定序器。

9.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述定序器保持一队列全自动化工序和一队列人工辅助工序。

10.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述定序器保持一单队列穿插着人工辅助工序的全自动化工序。

11.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述工件为一系列通过所述装置按顺序成像和处理的工件之一，并且其中，若在第一工件上已经进行了所有所述自动化工序并且还没有推入所述人工操作员就绪输入端，则所述定序器在所述序列中的第二工件上继续进行全自动化工序。

12.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，在已经在所述第二工件上继续进行全自动化工序后，当推入所述人工操作员就绪输入端时，所述定序器在所述第一工件上返回人工辅助工序。

13.如权利要求1至4任意一项所述的装置，其中，所述调度输入入口装置包括连接到网络上用于接收来自远程装置的所述调度的端口。

14.一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置，包括：

a.用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；

b.工序调度器，该工序调度器接受来自所述调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序；以及

c.工序定序器，当所述人工操作员就绪输入端在所述第一状态时，该工序定序器通过全自动化工序进行定序直到所述人工操作员就绪输入端被置于所述第二状态下，此时，所述定序器开始对所述全自动化工序进行定序。

15.如权利要求14所述的装置，其中，所述装置为缺陷分析器。

16.如权利要求14或权利要求15所述的装置，其中，人工辅助工序为确定工序端点。

17.如权利要求14或权利要求15所述的装置，其中，全自动化工序是进行自动打薄。

18.如权利要求14或权利要求15所述的装置，其中，所述装置包括微处理器并且还包括通信性地连接到所述微处理器上并且具有程序的微处理器可读非瞬态存储器，当在所述微处理器上执行时，该程序执行所述调度器。