[发明专利]冷却装置在审
申请号: | 201310326007.8 | 申请日: | 2013-07-30 |
公开(公告)号: | CN103898453A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 安田淳一;降矢新治;森本秀敏;増田行男 | 申请(专利权)人: | 爱发科低温泵株式会社 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却 装置 | ||
1.一种冷却装置,
具有冷冻机和由该冷冻机冷却的冷却面板,使冷却面板的主面接近或接触处理对象从而冷却处理对象,
其特征在于:
以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时的冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面与处理对象分离时的冷却面板的姿势为第二姿势,
冷却面板设置为在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中的至少一种时,冷冻机的冷却部与冷却面板接触,通过热传递使冷却面板冷却。
2.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于:
具有安装有所述冷却面板的旋转轴、驱动该旋转轴旋转的第一驱动装置,以及驱动所述冷却部相对于所述冷却面板自由进退的第二驱动装置,采用由第一驱动装置驱动旋转轴旋转,在冷却面板分别采取第一姿势和第二姿势时由第二驱动装置使冷却部与冷却面板接触的结构。
3.根据权利要求1或2所述的冷却装置,其特征在于:
在所述旋转轴的轴向存在间隔地配置多台冷冻机。
4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的冷却装置,其特征在于:
所述冷却面板还具有围绕处理对象外周面的围绕部。
5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的冷却装置,其特征在于:
所述冷却面板由多块面板体并列设置在同一平面内构成,所述冷却面板的面积大于等于处理对象的与其相对面的面积,所述面板体的面积小于所述相对面的面积。
6.根据权利要求5所述的冷却装置,其特征在于:
分别对应所述冷却面板的面板体设置冷冻机。
7.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于:
所述冷却面板具有固定面板,其随时与冷冻机接触;可动面板;连接件,其以该固定面板为旋转中心摆动可动面板。
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