[发明专利]微弹簧结构精密传感器有效
| 申请号： | 201310326093.2 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103411654A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李桂新 | 申请（专利权）人： | 李桂新 |
| 主分类号： | G01G3/04 | 分类号： | G01G3/04 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 065099 河北省廊坊市广*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹簧 结构 精密 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，包括：螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线；
所述螺帽是由圆柱形侧壁和顶盖构成的下端开口部件，顶盖中间设有通孔；
所述基座固定于螺帽下端开口处，基座上设有引线孔；
所述MEMS电容传感器位于基座上；
所述微感应头位于MEMS电容传感器上方，穿过顶盖的通孔伸出螺帽外，且微感应头与顶盖的通孔无接触；
所述引线一端连接MEMS电容传感器，另一端由引线孔引出基座外部。
2.根据权利要求1所述的一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，所述螺帽和基座分别设有螺纹，通过螺纹相固定连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，所述MEMS电容传感器由下至上依次包括：下极板、绝缘介质、微弹簧和上极板；所述上极板由微弹簧固定在绝缘介质上；所述引线分别连接在上极板和下极板上。
4.根据权利要求3所述的一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，所述微弹簧不少于三个，各微弹簧的一端沿上极板外沿均匀分布。
5.根据权利要求3所述的一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，所述MEMS电容传感器是由硅基材料制成。
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