[发明专利]基于远程变焦光路复用的LIBS测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201310327057.8 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103411932A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 万雄;舒嵘;王建宇;亓洪兴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 远程 变焦 光路复用 libs 测试 系统 方法 | ||
1.一种基于远程变焦光路复用的激光诱导击穿光谱测试系统，它包括皮秒固体脉冲激光器（1），远程变焦光路复用LIBS望远镜（2），ICCD光谱仪（9），光纤（10），光纤接口（11）和可调光纤耦合镜（12），其特征在于：所述的测试系统采用一个远程变焦光路复用LIBS望远镜，该望远镜由一个扩束器、一个45°放置的分束镜、一个调整镜组、一个二次扩束聚焦镜组、一个可调光纤耦合镜及一个光纤接口组成，其中所述的扩束器镀有1064nm高透膜、所述的分束镜镀有1064nm高透膜及200nm-750nm高反膜；所述的调整镜组与二次扩束聚焦镜组镀有1064nm及200nm-750nm高透膜；所述的可调光纤耦合镜镀有200nm-750nm高透膜。
2.一种基于权利要求1所述测试系统的LIBS测试方法，其特征在于：波长1064nm脉冲激光依次通过镀有1064nm高透膜的扩束器、镀有1064nm高透膜及200nm-750nm高反膜的分束镜、镀有1064nm及200nm-750nm高透膜的调整镜组、镀有1064nm及200nm-750nm高透膜的二次扩束聚焦镜组，然后聚焦到远处目标表面上的一点，激发出的LIBS光谱信号反向依次经过镀有1064nm及200nm-750nm高透膜的二次扩束聚焦镜组、镀有1064nm及200nm-750nm高透膜的调整镜组，然后经过镀有1064nm高透膜及200nm-750nm高反膜的分束镜反射，再经过镀有200nm-750nm高透膜的可调光纤耦合镜聚焦至插在光纤接口的ICCD光谱仪的光纤端面，然后由ICCD光谱仪采集及分析LIBS光谱信号。
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